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- Électronique (wafers, semi-conducteurs, microprocesseurs,...)
Ultrakompakt, haute précision, lubrification à sec, fiable, peu d'entretien
Solution de positionnement innovante pour la lithographie DUV
Pour la lithographie DUV, Steinmeyer a développé sur le site de Dresde, le plus grand centre IKT/microélectronique d'Europe, une solution de positionnement ultracompacte et de haute précision pour l'exposition de wafers en atmosphère sèche, sans oxygène, dans de l'azote. Ce module innovant es…








