-
- Elektronika (wafer, półprzewodniki, mikroczipy,...)
Ultrakompakt, wysoce precyzyjny, sucho-smarujący, niezawodny, niskie wymagania konserwacyjne
Innowacyjne rozwiązanie pozycjonujące dla litografii DUV
Na potrzeby litografii DUV Steinmeyer w lokalizacji w Dreźnie, w największym w Europie centrum IKT/mikroelektroniki, opracował ultrakompaktowe, wysoce precyzyjne rozwiązanie do pozycjonowania do naświetlania wafli w suchym, beztlenowym środowisku azotowym. Innowacyjna jednostka jest zaprojekto…








