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- Elettronica (wafer, semiconduttori, microchip,...)
Ultracompatto, altissima precisione, lubrificante secco, affidabile, a bassa manutenzione
Soluzione innovativa di posizionamento per la litografia DUV
Per la litografia DUV, Steinmeyer ha sviluppato presso la sede di Dresda, il più grande centro ICT/microelettronica d'Europa, una soluzione di posizionamento ultracompatta e ad alta precisione per l'esposizione di wafer in un'atmosfera di azoto secco e privo di ossigeno. Il modulo innovativo è pro…








