Miniature vis à billes à glissement dans l'industrie des semi-conducteurs

Pour une utilisation dans l'industrie des semi-conducteurs, Feinmess Suhl propose des vis à billes précises et ultra-compacts, qui fonctionnent sans lubrifiants. (Image : Feinmess Suhl GmbH)

Dans les applications haut de gamme dans la technologie des semi-conducteurs, l’électronique ou la recherche et développement, la miniaturisation et l’automatisation progressent constamment. Les systèmes de positionnement et d’entraînement doivent fonctionner de manière précise, propre, fiable et peu exigeante en maintenance dans des conditions environnementales extrêmes. La Feinmess Suhl GmbH, faisant partie du groupe Steinmeyer, développe des vis à billes linéaires compactes, robustes et durables, qui peuvent être adaptées selon les souhaits des clients.

Lorsque des pièces, composants ou ensembles sont utilisés dans des environnements exigeants tels que le vide, l’air extrêmement sec ou l’azote, une atmosphère de gaz nobles ou une salle blanche, un savoir-faire particulier est requis dans le choix des matériaux. Les vis à billes linéaires sont fabriquées à Suhl en option en laiton, acier ou acier inoxydable, jusqu’à des matériaux plastiques — des revêtements spéciaux, des lubrifiants ou un fonctionnement sans lubrifiant sont également possibles.

PEEK & Acier inoxydable

Dans des applications exigeantes de l’industrie des semi-conducteurs (HV, DUV, EUV), la combinaison d’une vis en acier inoxydable non rouillant avec une noix en PEEK s’est avérée efficace, notamment. « Dans de l’azote ultra-sec ou en vide haute, de bonnes propriétés de glissement et une formation minimale de particules sont requises », explique le responsable du développement, Detlef Rode. « Notre plastique haute performance est enrichi de charges lubrifiantes, présente de faibles valeurs de dégazage et constitue ainsi une alternative judicieuse aux graisses ou huiles. » Avec cette paire de matériaux innovante, il est possible d’obtenir, sans lubrifiants supplémentaires, une capacité de glissement optimale, une friction réduite, une évacuation de la chaleur ainsi qu’une grande stabilité mécanique et une durabilité. Le système est également idéal pour un fonctionnement à sec jusqu’à la classe ISO3 de salle blanche et à 10E-9 mbar.

Ultra-compact et haute précision

« Nos vis à billes linéaires ultra-compactes font partie des plus petites du marché, avec un diamètre de spindale de seulement 3 mm et une longueur de 112 mm », poursuit Rode. Elles atteignent une précision jusqu’à la classe de tolérance ISO 3 — une classe 1 est également possible sur demande — et peuvent être utilisées dans une plage de températures de -196 °C à 140 °C. « Une telle précision à cette taille est unique et ne peut pas être réalisée avec des vis à billes en fonctionnement à sec. » De plus, ces vis à billes linéaires robustes offrent une construction simple, une auto-fixation, une grande rigidité ainsi qu’une précision de forme et de dimension exactes.

Assemblages selon les souhaits du client

La vis des vis à billes linéaires est laminée ou roulée. Cette méthode sans copeaux permet d’obtenir une haute qualité de surface par déformation à froid. Steinmeyer réalise, sur demande du client, différents types de filets, tailles, directions de filetage ainsi que des pas de 0,1 mm ou plus, avec une course allant jusqu’à 300 mm. De plus, le fabricant propose des variantes de noix avec diverses options en termes de forme, précontrainte ou jeu.