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- Electrónica ( obleas, semiconductores, microchips,...)
Ultracompacto, de alta precisión, lubricante en seco, confiable, de bajo mantenimiento
Solución de posicionamiento innovadora para la litografía DUV
Para la litografía DUV, Steinmeyer en la ubicación de Dresde, el centro de IKT/Microelectrónica más grande de Europa, ha desarrollado una solución de posicionamiento ultracompacta y de alta precisión para la exposición de obleas en atmósfera seca y libre de oxígeno, en nitrógeno. El módul…








