-
- Elektronica (wafer, halfgeleider, microchips,...)
De nieuwe integratiebenadering maakt gebruik van zelfgeoriënteerde doorverbindingen in silicium met een structuurbreedte van minder dan 100 nm, waardoor verbindingen van de voorzijde naar de achterzijde mogelijk zijn, gekenmerkt door lage weerstand, geringe lekstromen en een goede uitlijningsnauwkeurigheid.
Sony en imec presenteren een hoogdicht modul voor de achterzijdeverbinding, dat de integratie van 3D-chips van de volgende generatie mogelijk maakt
– Sony en imec presenteren een nieuw modul voor de integratie van hoogdichte, achterzijde-verbindingen met door-gaatjes (TSV's) onder de 100 nm, gebaseerd op een zelfuitgelijnde methode voor lokale diëlektrische isolatie aan de achterzijde (local BDI).
– De zo ontstane front-naar-achter TSV's vertone…








