Nieuw jaar, nieuwe baan? Bekijk de aanbiedingen! meer ...
ClearClean Becker Piepenbrock HJM



Figuur 1. Representatieve REM-opnamen van EUV-wafels met 0,55 NA, die de CAR-structurering tonen op logische metalen en via-structuren met een smalle pitch, waaronder SRAM (AEI), PnR (AEI), Mander-E-test (ADI) en 28-nm-C2C-Random-Logic-Vias (ADI) (AEI = Inspectie na etsen; ADI = Inspectie na ontwikkeling).
  • Elektronica (wafer, halfgeleider, microchips,...)

Imec en zijn materiaaltoeleveranciers optimaliseren hun op chemisch versterkte resistenties (CAR) gebaseerde platforms voor EUV-eenstructurering met hoge numerieke opening (NA) van lijnstructuren met een pitch van 22 nm, die A14/A10-logische ontwerpen ondersteunen

Imec demonstreert de verdere ontwikkeling van chemisch versterkte resiststoffen voor EUV-lithografie met hoge numerieke opening (NA)

– Imec optimaliseert de CAR-gebaseerde technologie voor de single-patterning-processen met hoge NA in het EUV-bereik bij meerdere lagen van de logische technologieknooppunten A14/A10.
– Er zijn verschillende logische structuren met nauwe afstanden bij metalen lijnen en doorcontacten gedemonstreerd, w…

Beter geïnformeerd: Met het JAARBOEK, de NIEUWSBRIEF, NEWSFLASH, NEWSEXTRA en de EXPERTENGIDS

Blijf op de hoogte en abonneer u op onze maandelijkse e-mail NIEUWSBRIEF en NEWSFLASH en NEWSEXTRA. Krijg meer informatie over de reinruimtewereld met ons gedrukte JAARBOEK. En ontdek wie de experts op het gebied van reinruimtes zijn in onze gids.

PMS Systec & Solutions GmbH Hydroflex Pfennig Reinigungstechnik GmbH