-
- Elektronika (wafer, polovodiče, mikročipy,...)
Nový přístup k integraci využívá samořídící průchodky v křemíku s konstrukční šířkou menší než 100 nm, což umožňuje spojení z přední strany na zadní stranu, které se vyznačuje nízkým odporem, malými netěsnostmi a dobrou přesností překrytí.
Sony a imec představují vysoce hustý modul pro zadní spojení, který umožňuje integraci 3D čipů příští generace
– Sony a imec představují nový modul pro integraci hustých zadních průchodových spojů (TSV) menších než 100 nm, založený na samostatném procesu lokální dielektrické izolace na zadní straně (local BDI).
– Výsledné front-to-back TSV mají ve srovnání s TSV vyrobenými tradičním procesem Via-Middle TSV po…








