Miniature filettature a vite di scorrimento nella produzione di semiconduttori

Per l'uso nell'industria dei semiconduttori, Feinmess Suhl offre viti a ricircolo di sfere precise e ultracompatte, che funzionano senza lubrificanti. (Immagine: Feinmess Suhl GmbH)

Per applicazioni di alta gamma nel settore dei semiconduttori, elettronica o ricerca e sviluppo, la miniaturizzazione e l'automazione avanzano costantemente. I sistemi di posizionamento e azionamento devono funzionare con precisione, pulizia, affidabilità e poca manutenzione in condizioni ambientali estreme. La Feinmess Suhl GmbH, parte del gruppo Steinmeyer, sviluppa riduttori a vite lineare compatti, robusti e durevoli, personalizzabili secondo le esigenze del cliente.

Quando componenti, parti o gruppi vengono utilizzati in ambienti impegnativi come vuoto, aria estremamente secca o azoto, atmosfera di gas nobili o camere bianche, la scelta dei materiali richiede competenze specializzate. I riduttori a vite lineare sono realizzati a Suhl, opzionalmente, in ottone, acciaio o acciaio inossidabile, fino a plastica — anche rivestimenti speciali, lubrificanti o funzionamento senza lubrificazione sono possibili.

PEEK & Acciaio Inox

In applicazioni impegnative dell'industria dei semiconduttori (HV, DUV, EUV), si è dimostrata efficace la combinazione di una vite in acciaio inossidabile resistente alla ruggine con una madrevite in PEEK. «In azoto ultra-secco o in vuoto elevato, sono richieste buone caratteristiche di scorrimento e una minima formazione di particelle», spiega il responsabile dello sviluppo Detlef Rode. «Il nostro materiale plastico ad alte prestazioni è arricchito con riempitivi lubrificanti, presenta bassi valori di gas emessi e rappresenta un'alternativa valida a grassi o oli.» Con questa coppia di materiali innovativa, è possibile ottenere senza lubrificanti aggiuntivi una scorrevolezza ottimale, riduzione dell'attrito e dissipazione del calore, oltre a elevata stabilità meccanica e durata nel tempo. Il sistema è inoltre ideale per funzionamenti a secco fino alla classe di ambiente sterile ISO3 e a una pressione di 10E-9 mbar.

Ultracompatto e ad alta precisione

«I nostri riduttori a vite lineare ultracompatti, con un diametro di vite di appena 3 mm e una lunghezza di 112 mm, sono tra i più piccoli sul mercato», prosegue Rode. Raggiungono una precisione fino alla classe di tolleranza ISO 3 — su richiesta anche la classe 1 — e possono essere utilizzati in un intervallo di temperatura da -196°C a 140°C. «Una tale precisione in queste dimensioni è unica e non può essere realizzata con viti a ricircolo di sfere in funzionamento a secco.» Inoltre, i robusti riduttori a vite lineare offrono una costruzione semplice, auto-bloccaggio, elevata rigidità e precisione dimensionale e di forma.

Gruppi assemblati secondo le esigenze del cliente

La vite dei riduttori a vite lineare viene a trafilata o a rollo. Con questa lavorazione senza truciolo si ottiene un'elevata qualità superficiale tramite deformazione a freddo. Steinmeyer realizza presso la sede di Suhl, su richiesta del cliente, diversi tipi di filettature, dimensioni, direzioni e numeri di passo con una pendenza di ≥ 0,1 mm e una corsa fino a 300 mm. Inoltre, il produttore offre varianti di madreviti con molte opzioni riguardo a forma, pre-tensione o gioco.