Miniaturowe śrubowe napędy ślizgowe w przemyśle półprzewodnikowym

Na potrzeby przemysłu półprzewodnikowego Feinmess Suhl oferuje precyzyjne i ultrakompaktowe śruby ślizgowe, które nie wymagają smarów. (Zdjęcie: Feinmess Suhl GmbH)

W przypadku zastosowań wysokiej klasy w technologii półprzewodników, elektronice lub badaniach i rozwoju, miniaturyzacja i automatyzacja postępują nieustannie. Systemy pozycjonowania i napędu muszą działać precyzyjnie, czysto, niezawodnie i z niskimi wymaganiami konserwacyjnymi w ekstremalnych warunkach środowiskowych. Firma Feinmess Suhl GmbH, należąca do grupy Steinmeyer, opracowuje kompaktowe, wytrzymałe i trwałe miniaturowe śruby kulowe, które można dostosować do potrzeb klienta.

Gdy elementy, komponenty lub zespoły są używane w wymagających środowiskach, takich jak próżnia, ekstremalnie suchy powietrze lub azot, atmosfera gazów szlachetnych lub pomieszczenia czyste, konieczny jest specjalistyczny know-how przy doborze materiałów. Śruby kulowe są wykonywane w Suhl opcjonalnie z mosiądzu, stali lub stali nierdzewnej, a także z tworzyw sztucznych — możliwe są również specjalne powłoki, środki smarne lub bezsmarowe rozwiązania.

PEEK i stal nierdzewna

W wymagających zastosowaniach przemysłu półprzewodnikowego (HV, DUV, EUV) sprawdziła się między innymi kombinacja nierdzewnej śruby kulowej ze stali nierdzewnej z nakrętką z PEEK. „W ultra suchym azocie lub w wysokiej próżni istotne są dobre właściwości poślizgowe i minimalne powstawanie cząstek,” wyjaśnia kierownik rozwoju Detlef Rode. „Nasz wysokowydajny plastik jest wzbogacony środkami smarnymi, charakteryzuje się niskimi wartościami odgazowania i stanowi sensowną alternatywę dla smarów lub olejów.” Dzięki innowacyjnemu połączeniu materiałów można bez dodatkowych środków smarnych osiągnąć optymalną zdolność poślizgu, zmniejszone tarcie i odprowadzanie ciepła, a także wysoką stabilność mechaniczną i trwałość. System jest również idealny do suchego ruchu w pomieszczeniach czystych klasy ISO3 i 10E-9 mbar.

Ultrakompaktowe i wysokoprecyzyjne

„Nasze ultrakompaktowe śruby kulowe należą do najmniejszych na rynku, z średnicą wałka zaledwie 3 mm i długością 112 mm,” kontynuuje Rode. Osiągają precyzję do klasy tolerancji ISO 3 — na życzenie możliwa jest także klasa 1 — i mogą być stosowane w zakresie temperatur od -196°C do 140°C. „Taka precyzja w tak małym rozmiarze jest unikalna i nie jest możliwa do osiągnięcia w przypadku śrub kulowych w trybie suchym.” Ponadto wytrzymałe śruby kulowe oferują prostą konstrukcję, samohamowność, wysoką sztywność oraz dokładną powtarzalność wymiarów i kształtu.

Zestawy zgodnie z życzeniem klienta

Wał śruby kulowej jest walcowany lub rolkowany. Dzięki temu bezskrawkowemu procesowi uzyskuje się wysoką jakość powierzchni poprzez kształtowanie na zimno. Steinmeyer realizuje w swoim zakładzie w Suhl na życzenie klienta różne typy gwintów, rozmiary, kierunki oraz liczby zwojów z skokiem ≥ 0,1 mm i skokiem do 300 mm. Dodatkowo producent oferuje nakrętki w różnych wariantach, z wieloma opcjami dotyczącymi kształtu, naprężenia lub luzu.