Miniatuur glijspindelmechanismen in de halfgeleiderindustrie

Voor gebruik in de halfgeleiderindustrie biedt Feinmess Suhl nauwkeurige en ultracompacte glijspindelmechanismen die zonder smeermiddelen kunnen functioneren. (Afbeelding: Feinmess Suhl GmbH)

Bij high-end toepassingen in de halfgeleidertechniek, elektronica of onderzoek en ontwikkeling wordt de miniaturisering en automatisering voortdurend voortgezet. Positioneer- en aandrijfsystemen moeten onder extreme omgevingsomstandigheden nauwkeurig, schoon, betrouwbaar en onderhoudsarm werken. De Feinmess Suhl GmbH, onderdeel van de Steinmeyer-groep, ontwikkelt compacte, robuuste en duurzame miniatuur glijspindeloverbrengingen die naar wens van de klant kunnen worden aangepast.

Wanneer onderdelen, componenten of assemblages worden gebruikt in veeleisende omgevingen zoals vacuüm, extreem droge lucht of stikstof, edelgasatmosfeer of cleanroom, is speciale expertise vereist bij de materiaalkeuze. De glijspindeloverbrengingen worden in Suhl optioneel vervaardigd uit messing, staal of roestvrij staal tot kunststof – ook speciale coatings, smeermiddelen of een onderhoudsvrij gebruik zijn mogelijk.

PEEK & RVS

In veeleisende toepassingen in de halfgeleiderindustrie (HV, DUV, EUV) heeft onder andere de combinatie van een roestvrijstalen spindel met een PEEK-moer zich bewezen. „In ultra-droge stikstof of hoogvacuum zijn goede glijeigenschappen en minimaleeltjesvorming vereist“, legt ontwikkelingsleider Detlef Rode uit. „Onze hoogprestatiekstof wordt verrijkt met smeerstoffen en heeft lage uitgaswaarden, waardoor het een zinvol alternatief vormt voor vetten of oliën.“ Met de innovatieve materiaalcombinatie kan zonder extra smeermiddelen een optimale glijwerking, verminderde wrijving en warmteafvoer, evenals een hoge mechanische stabiliteit en duurzaamheid worden bereikt. Het systeem is bovendien ideaal voor droogloop tot cleanroomklasse ISO3 en 10E-9 mbar.

Ultraklein en hoogprecies

„Onze ultrakleine glijspindeloverbrengingen behoren met een spindeldiameter van slechts 3 mm en een lengte van 112 mm tot de kleinste op de markt“, vervolgt Rode. Ze bereiken een nauwkeurigheid tot ISO-tolerantieklasse 3 – op aanvraag is ook klasse 1 mogelijk – en kunnen worden ingezet binnen een temperatuurbereik van -196°C tot 140°C. „Zo'n precisie in deze grootte is uniek en kan niet worden gerealiseerd met kogelomloopspindels in droogloop.“ Daarnaast bieden de robuuste glijspindeloverbrengingen een eenvoudige opbouw, zelfremming, hoge stijfheid en exacte vorm- en maatvastheid.

Assemblages op maat van de klant

De spindel van de glijspindeloverbrengingen wordt gewalst of gerold. Met deze naadloze methode wordt een hoge oppervlaktkwaliteit verkregen door koudvervorming. Steinmeyer realiseert op locatie in Suhl, op wens van de klant, verschillende soorten, groottes, richtingen en tandwielverhoudingen met een stapsnelheid van ≥ 0,1 mm en een slag tot 300 mm. Daarnaast biedt de fabrikant moervarianten met diverse opties qua bouwvorm, pre-tensionering of speling.