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Toutes les publications de Steinmeyer Holding GmbH

Le filtre polarisant a été spécialement développé par Steinmeyer pour la lithographie DUV. (Copyright : stock.adobe.com/IM Imagery, numéro 560372105) À une hauteur de seulement 15 mm, trois filtres plans sont intégrés, pouvant être déplacés dans le trajet du faisceau de l'installation optique et positionnés indépendamment les uns des autres. (Copyright : Steinmeyer Gruppe) Solution de positionnement ultra-compacte et de haute précision pour l'exposition de wafers dans une atmosphère sèche et sans oxygène. (Copyright : Image : Steinmeyer Gruppe) La combinaison d'acier inoxydable non rouillant (vis) et du plastique haute performance PEEK (écrou) permet une glissance optimale, une dissipation thermique et une stabilité mécanique dans l'azote ultra-sec. (Copyright : Feinmess Suhl GmbH) La vis à billes a un diamètre de broche de 3 mm et une longueur de broche de 112 mm, ce qui en fait l'une des plus petites du marché dans cette précision. (Copyright : Steinmeyer Gruppe)
  • Électronique (wafers, semi-conducteurs, microprocesseurs,...)

Solution de positionnement ultra-compacte et de haute précision pour la lithographie DUV

De la bobine à l'ensemble mécanique

Lorsqu'il s'agit de solutions de positionnement hautement spécialisées et sur mesure pour les clients, Steinmeyer est incontournable. Même dans l'industrie des semi-conducteurs, le site de Dresde dans le « Silicon Saxony » est depuis longtemps considéré comme un eldorado pour l'impossible, ca…

Le masqueur 3D MP700-3 est une solution innovante, industrielle et évolutive, pour un alignement compact et précis avec un débit élevé. (Image : Steinmeyer Gruppe)
  • Électronique (wafers, semi-conducteurs, microprocesseurs,...)

Concept de cinématique parallèle pour des performances exceptionnelles

Aligner ultra-fin pour un réglage précis avec un débit élevé

Avec le 3D Mask-Aligner MP700-3, Steinmeyer Mechatronik propose une solution de positionnement innovante, industrielle et évolutive pour l'industrie électronique et également pour l'industrie des semi-conducteurs. Le système parallélocentrique avec des coussins d'air et des actionneurs directs…

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