Miniatür-Gleitgewindetriebe in der Halbleiterindustrie

A félvezetőiparban való alkalmazásra a Feinmess Suhl precíz és ultrakompakt csúszómenet-orsókat kínál, amelyek kenőanyag nélkül működnek. (Kép: Feinmess Suhl GmbH)

High-End alkalmazások esetén a félvezetőiparban, elektronikában vagy kutatás-fejlesztésben a miniatürizálás és az automatizálás folyamatosan halad előre. A pozícionáló- és hajtóműrendszereknek extrém környezeti feltételek között kell precízen, tisztán, megbízhatóan és karbantartásmentesen működniük. A Steinmeyer-csoporthoz tartozó Feinmess Suhl GmbH kompakt, robusztus és tartós miniatűr sígörgősorsó-átalakítókat fejleszt, amelyeket az ügyfél igényei szerint lehet testre szabni.

Amikor alkatrészek, komponensek vagy szerelvények olyan kihívást jelentő környezetekben kerülnek alkalmazásra, mint a vákuum, extrém száraz levegő vagy nitrogén, nemesgáz atmoszféra vagy tisztatér, különösen fontos a megfelelő anyagválasztás. A sígörgősorsó-átalakítók Suhlban opcionálisan sárgaréz, acél vagy rozsdamentes acél, illetve műanyag felhasználásával készülnek – különleges bevonatok, kenőanyagok vagy kenőanyag nélküli működés is lehetségesek.

PEEK & rozsdamentes acél

Az olyan kihívást jelentő alkalmazásokban, mint a félvezetőipar (HV, DUV, EUV), bevált például a rozsdamentes acél orsó és egy PEEK anya kombinációja. „Ultra-száraz nitrogénben vagy magas vákuumban jó csúszási tulajdonságokra és minimális részecskeképződésre van szükség” – magyarázza a fejlesztési vezető, Detlef Rode. „Magas teljesítményű műanyagunk kenőanyaggal töltött adalékokat tartalmaz, alacsony gázelnyelő értékekkel rendelkezik, így értelmes alternatívát kínálva a zsírok vagy olajok helyett.” Az innovatív anyagpárnak köszönhetően kenőanyag nélkül is optimális csúszás, csökkent súrlódás és hőelvezetés, valamint magas mechanikai stabilitás és tartósság érhető el. A rendszer ideális száraz futáshoz, akár ISO3 tisztatér osztályban és 10E-9 mbar nyomáson is.

Ultrakompakt és magas precizitás

„Ultrakompakt sígörgősorsó-átalakítóink a piacon a legkisebbek közé tartoznak, orsóátmérőjük mindössze 3 mm, hosszúságuk pedig 112 mm” – folytatja Rode. Precizitásuk akár ISO-tűrési osztály 3-ig terjed – kérésre az osztály 1 is elérhető –, és -196 °C-tól 140 °C-ig alkalmazhatók. „Egy ilyen méretben ilyen precizitás egyedülálló, és száraz futású golyósorsókkal nem valósítható meg.” Emellett a robusztus sígörgősorsók egyszerű felépítést, önzárást, magas merevséget, valamint pontos forma- és méretpontosságot kínálnak.

Üzemi egységek az ügyfél igényei szerint

A sígörgősorsó-átalakítók orsója hideg- vagy melegen hengerelt. Ez a szerszám nélküli eljárás magas felületi minőséget eredményez hidegformálással. A Steinmeyer a Suhl-i telephelyén az ügyfél kérésére különböző menet típusokat, méreteket, irányokat és fogszámokat valósít meg, minimum 0,1 mm menetemelkedéssel és akár 300 mm-es lépéssel. Emellett a gyártó különböző anya változatokat kínál különféle kialakítási, előfeszítési vagy játék opciókkal.