Miniaturní šroubové pohony v polovodičovém průmyslu

Pro použití v polovodičovém průmyslu nabízí Feinmess Suhl přesné a ultrakompaktní posuvné šroubové pohony, které nevyžadují maziva. (Obrázek: Feinmess Suhl GmbH)

U high-endových aplikací v polovodičovém průmyslu, elektronice nebo výzkumu a vývoji neustále postupuje miniaturizace a automatizace. Polohovací a pohonné systémy musí pracovat přesně, čistě, spolehlivě a s nízkou údržbou za extrémních podmínek prostředí. Feinmess Suhl GmbH, patřící do skupiny Steinmeyer, vyvíjí kompaktní, odolné a dlouhotrvající miniaturní kluzné šroubové pohony, které lze přizpůsobit podle požadavků zákazníka.

Pokud jsou díly, komponenty nebo sestavy používány v náročných prostředích, jako je vakuum, extrémně suchý vzduch nebo dusík, atmosféra vzácných plynů nebo čisté místnosti, je při výběru materiálu zapotřebí zvláštní know-how. Kluzné šroubové pohony se v Suhlu vyrábějí volitelně z mědi, oceli nebo nerezové oceli, případně z plastu — také s speciálními povlaky, mazivy nebo bezmazivým provozem.

PEEK & Nerezová ocel

V náročných aplikacích v polovodičovém průmyslu (HV, DUV, EUV) se osvědčila například kombinace nerezové ocelové šroubovice, která je odolná vůči korozi, s matkou z PEEK. „V ultra suchém dusíku nebo ve vysokém vakuu jsou požadovány dobré kluzné vlastnosti a minimální tvorba částic,“ vysvětluje vedoucí vývoje Detlef Rode. „Náš vysoce výkonný plast je obohacen o mazací plniva, má nízké emisní hodnoty a představuje tak rozumnou alternativu k tukům nebo olejům.“ S touto inovativní kombinací materiálů lze bez dalších maziv dosáhnout optimální kluznosti, sníženého tření a odvodu tepla, stejně jako vysoké mechanické stability a dlouhé životnosti. Systém je také ideální pro suchý chod až do čisté místnosti třídy ISO3 a 10E-9 mbar.

Ultrakompaktní a vysoce přesné

„Naše ultrakompaktní kluzné šroubové pohony patří s průměrem šroubu pouhých 3 mm a délkou 112 mm k nejmenším na trhu,“ pokračuje Rode. Dosahují přesnosti až třídy tolerance ISO 3 – na požádání je možná i třída 1 – a lze je použít v teplotním rozsahu od -196 °C do 140 °C. „Taková přesnost v takové velikosti je jedinečná a není dosažitelná s kuličkovými šroubovými pohony při suchém chodu.“ Kromě toho robustní kluzné šroubové pohony nabízejí jednoduchou konstrukci, samosvornost, vysokou tuhost a přesnou tvarovou a rozměrovou stálost.

Sestavy dle požadavků zákazníka

Šroub kluzného pohonu je válcovaný nebo válcovaný za studena. Tato bezdílová technologie vytváří vysokou kvalitu povrchu prostřednictvím studené tvářecí operace. Steinmeyer realizuje na základě požadavků zákazníka různé typy závitů, velikosti, směry a počet závitů s krokem ≥ 0,1 mm a zdvihem až do 300 mm. Výrobce také nabízí matice s různými možnostmi z hlediska tvaru, předpětí nebo vůle.