Miniatura de husillos de rosca de avance en la industria de semiconductores

Para su uso en la industria de semiconductores, Feinmess Suhl ofrece husillos de rosca deslizante precisos y ultracompactos que no requieren lubricantes. (Imagen: Feinmess Suhl GmbH)

En aplicaciones de alta gama en la industria de semiconductores, electrónica o investigación y desarrollo, la miniaturización y automatización avanzan constantemente. Los sistemas de posicionamiento y accionamiento deben funcionar con precisión, limpieza, fiabilidad y bajo mantenimiento en condiciones ambientales extremas. La Feinmess Suhl GmbH, perteneciente al grupo Steinmeyer, desarrolla husillos de rosca deslizante compactos, robustos y duraderos, que pueden adaptarse según las necesidades del cliente.

Cuando componentes, piezas o conjuntos se utilizan en entornos exigentes como vacío, aire extremadamente seco o nitrógeno, atmósfera de gases nobles o salas limpias, la selección de materiales requiere un conocimiento especializado. Los husillos de rosca deslizante se fabrican en Suhl opcionalmente en latón, acero o acero inoxidable, e incluso en plásticos, incluyendo recubrimientos especiales, lubricantes o funcionamiento sin lubricación.

PEEK y acero inoxidable

En aplicaciones exigentes en la industria de semiconductores (HV, DUV, EUV), se ha demostrado, entre otras cosas, la combinación de una espiral de acero inoxidable no oxidante con una tuerca de PEEK. "En nitrógeno ultra seco o en vacío extremo, se requieren buenas propiedades de deslizamiento y una generación mínima de partículas", explica el director de desarrollo, Detlef Rode. "Nuestro plástico de alto rendimiento se enriquece con rellenos lubricantes, presenta bajos valores de gases disueltos y, por lo tanto, constituye una alternativa sensata a grasas o aceites". Con esta combinación innovadora de materiales, se puede lograr sin lubricantes adicionales una capacidad de deslizamiento óptima, reducción de fricción y disipación de calor, además de alta estabilidad mecánica y durabilidad. El sistema también es ideal para funcionamiento en seco hasta la clase de sala limpia ISO3 y 10E-9 mbar.

Ultracompacto y de alta precisión

"Nuestros husillos de rosca deslizante ultracompactos, con un diámetro de espiral de apenas 3 mm y una longitud de 112 mm, son de los más pequeños del mercado", continúa Rode. Alcanzan una precisión hasta la clase de tolerancia ISO 3, y bajo solicitud también es posible la clase 1, pudiendo ser utilizados en un rango de temperatura de -196 °C a 140 °C. "Una precisión de este tamaño es única y no se puede lograr con husillos de bolas en funcionamiento en seco". Además, los robustos husillos de rosca deslizante ofrecen una estructura sencilla, auto-bloqueo, alta rigidez, así como exactitud en forma y dimensiones.

Conjuntos según las especificaciones del cliente

El husillo de los husillos de rosca deslizante se somete a un proceso de laminado o enrollado. Con este método sin virutas, se obtiene una alta calidad superficial mediante conformado en frío. Steinmeyer realiza en su sede en Suhl, según las especificaciones del cliente, diferentes tipos de roscas, tamaños, direcciones y números de pasos con una pendiente ≥ 0,1 mm y un recorrido de hasta 300 mm. Además, el fabricante ofrece variantes de tuercas con diversas opciones en cuanto a forma, pre-tensión o juego.