-
- Elektronica (wafer, halfgeleider, microchips,...)
Doorbraak maakt schaalbare, uiterst nauwkeurige biosensorische toepassingen mogelijk in de biowetenschappen en de medische technologie
Imec demonstreert voor het eerst met EUV-lithografie de productie van halfgeleider-nanobuizen op waferformaat
1. Imec heeft de eerste succesvolle fabricage van halfgeleider-nanokieren op wafernauwkeurigheid met behulp van EUV-lithografie op 300mm-wafers gerealiseerd. Deze innovatie transformeert de nanokiertechnologie van een concept op laboratoriumschaal naar een schaalbare platform voor biosensoriek, geno…








