Positionneur de galette Doppel-XYZ pour l'industrie des semi-conducteurs

Le positionneur de wafers double-XYZ de Steinmeyer Mechatronik permet un double débit sur la plus petite surface de montage. (Copyright : Steinmeyer Mechatronik GmbH)

Le portail d'inspection compact dispose de quatre axes de salle blanche au total et permet la vérification automatisée de plusieurs objets simultanément. (Copyright : Steinmeyer Mechatronik GmbH)

Le positionneur de wafers double-XYZ offre une solution très rentable pour l’analyse et l’inspection de grands wafers jusqu’à 12 pouces ou 300 mm. Le portail d’inspection avec un total de quatre axes en salle blanche permet le contrôle automatisé de plusieurs objets simultanément et garantit une efficacité maximale.

Le positionneur de wafers double-XYZ de Steinmeyer Mechatronik dispose de deux axes X pour scanners ou microscopes jusqu’à 10 kg ainsi que deux axes Y pour chucks jusqu’à 15 kg, permettant l’inspection des faces avant et arrière sur un seul système. Le système d’axes entièrement opérationnel est conçu pour une utilisation en trois équipes jusqu’à la classe ISO 2 en salle blanche, construit de manière extrêmement compacte, peu nécessitant d’entretien et configurable selon les besoins du client.

Inspection à haut débit de wafers jusqu’à 12 pouces

Que ce soit pour des wafers jusqu’à 12 pouces ou 300 mm, des cartes de test ou des circuits imprimés : avec le positionneur de wafers double-XYZ de Steinmeyer Mechatronik, il est possible d’examiner rapidement et précisément de grands substrats. Des entraînements directs sans fer réalisent des déplacements hautement dynamiques avec des vitesses maximales allant jusqu’à 1 000 mm/s sur des parcours jusqu’à 720 mm. Le débit élevé d’échantillons garantit une analyse rapide et donc des cycles courts. Malgré le double débit, la surface d’installation reste très réduite grâce à la conception compacte. La base des quatre axes en salle blanche est une plaque de granit massive et lourde, permettant d’atteindre d’excellentes valeurs de performance. Grâce à une précision de répétition de 0,3 µm, il est possible d’obtenir des résultats précis et d’énormes améliorations de la qualité.

Un haut degré de personnalisation

Le système d’inspection est livré avec une précision entièrement calibrée, y compris la gestion des câbles, le contrôleur de mouvement et les trous de fixation pour l’intégration dans des boîtiers. Différents services d’ingénierie et adaptations spécifiques à l’application permettent une conception sur mesure. La levée verticale peut ainsi être fixe, manuelle, motorisée avec vis ou dynamique avec entraînement direct pneumatiquement déchargé pour la compensation de hauteur lors d’un mouvement entièrement interpolé. De plus, une variété de contrôleurs est disponible — avec DLL et API pour une intégration logicielle simplifiée jusqu’à l’intégration dans un automate programmable (PLC). Grâce à sa conception en portail, le positionneur de wafers double-XYZ peut être facilement intégré dans des lignes de production existantes. La réparation, la maintenance et l’entretien sont facilités par un échange d’axes avec interfaces de changement préajustées, avec un temps d’arrêt très court.

Plus d’efficacité dans l’industrie des semi-conducteurs

Double débit sur une surface de montage minimale : le positionneur de wafers double-XYZ de Steinmeyer Mechatronik établit de nouvelles références en termes de performance, d’encombrement et de manipulation, permettant à l’industrie des semi-conducteurs de réaliser des gains d’efficacité considérables.