Posicionador de obleas Doppel-XYZ para la industria de semiconductores

El posicionador de obleas doble-XYZ de Steinmeyer Mechatronik permite un doble rendimiento en la menor superficie de montaje. (Copyright: Steinmeyer Mechatronik GmbH)

El portal de inspección compacto cuenta con un total de cuatro ejes de sala limpia y permite la inspección automatizada de múltiples objetos simultáneamente. (Derechos de autor: Steinmeyer Mechatronik GmbH)

El posicionador de obleas doble XYZ ofrece una solución altamente eficiente para el análisis e inspección de grandes obleas de hasta 12 pulgadas o 300 mm. El portal de inspección con un total de cuatro ejes en la sala limpia permite la inspección automatizada de múltiples objetos simultáneamente y garantiza la máxima eficiencia.

El posicionador de obleas doble XYZ de Steinmeyer Mechatronik cuenta con dos ejes X para escáneres o microscopios de hasta 10 kg y dos ejes Y para portabobinas de hasta 15 kg, permitiendo la inspección de la parte frontal y trasera en un solo sistema. El sistema de ejes completamente listo para operar está diseñado para su uso en turnos de tres turnos hasta la clase de sala limpia ISO 2, construido de forma extremadamente compacta, de bajo mantenimiento y configurable según las necesidades del cliente.

Cribado de alto rendimiento de obleas de hasta 12 pulgadas

Ya sea obleas de hasta 12 pulgadas o 300 mm, tarjetas de prueba o placas de circuito impreso: con el posicionador de obleas doble XYZ de Steinmeyer Mechatronik, se pueden inspeccionar rápidamente y con precisión sustratos grandes. Los accionamientos directos sin hierro permiten movimientos altamente dinámicos con velocidades punta de hasta 1.000 mm/s en recorridos de hasta 720 mm. La alta tasa de muestreo garantiza un análisis rápido y, por lo tanto, ciclos cortos. A pesar del doble rendimiento, el espacio de instalación es extremadamente reducido debido a su diseño compacto. La base para los cuatro ejes en sala limpia consiste en una pesada y maciza placa de granito, lo que permite obtener valores de rendimiento excelentes. Gracias a la precisión de repetición de 0,3 µm, se pueden obtener resultados de medición precisos y aumentos significativos en la calidad.

Alto nivel de personalización

El sistema de inspección se entrega con precisión totalmente calibrada, incluyendo gestión de cables, controlador de movimiento y orificios de montaje para accesorios de carcasa. Diferentes servicios de ingeniería y adaptaciones específicas para aplicaciones permiten un diseño a medida. La regulación vertical puede realizarse de forma fija, manual, motorizada con tornillo o de forma dinámica con accionamiento directo neumáticamente descargado para compensación de altura en movimientos totalmente interpolados. Además, se dispone de una variedad de controles, con DLL y API para una integración de software sencilla, hasta la conexión con PLC. Gracias a su estructura en portal, el posicionador de obleas doble XYZ puede integrarse fácilmente en procesos existentes. La reparación, el mantenimiento y la conservación se realizan mediante el intercambio de ejes con interfaces preajustadas, con un tiempo de inactividad muy corto.

Mayor eficiencia en la industria de semiconductores

Doble rendimiento en un espacio de instalación mínimo: el posicionador de obleas doble XYZ de Steinmeyer Mechatronik establece estándares en rendimiento, tamaño y manejo, permitiendo a la industria de semiconductores lograr aumentos significativos en eficiencia.