Podwójny pozycjoner wafli XYZ dla przemysłu półprzewodnikowego

Podwójny pozycjoner wafli XYZ firmy Steinmeyer Mechatronik umożliwia podwójny przepływ na najmniejszej powierzchni montażowej. (Copyright: Steinmeyer Mechatronik GmbH)

Kompleksowy portal inspekcyjny posiada łącznie cztery osie czystego pomieszczenia i umożliwia zautomatyzowane sprawdzanie wielu obiektów jednocześnie. (Copyright: Steinmeyer Mechatronik GmbH)

Podwójny pozycjoner wafli XYZ oferowany przez Steinmeyer Mechatronik to wysoce wydajne rozwiązanie do analizy i inspekcji dużych wafli o rozmiarze do 12 cali lub 300 mm. Portal inspekcyjny z łącznie czterema osiami czystego pomieszczenia umożliwia automatyczną kontrolę wielu obiektów jednocześnie i zapewnia najwyższą wydajność.

Podwójny pozycjoner wafli XYZ od Steinmeyer Mechatronik posiada dwie osie X do skanerów lub mikroskopów do 10 kg oraz dwie osie Y do uchwytów (chucków) do 15 kg, umożliwiając kontrolę przedniej i tylnej strony na jednym systemie. Kompletny, gotowy do pracy system osi jest przeznaczony do pracy w trzyzmianowym trybie w czystym pomieszczeniu klasy ISO 2, jest niezwykle kompaktowy, mało konserwowany i konfigurowalny według potrzeb klienta.

Wysoka przepustowość skanowania wafli do 12 cali

Bez względu na to, czy chodzi o wafle do 12 cali lub 300 mm, probe karty czy płytki drukowane: Podwójny pozycjoner wafli XYZ od Steinmeyer Mechatronik pozwala na szybkie i precyzyjne badanie dużych podłoży. Bezrdzeniowe napędy bezrdzeniowe realizują wysokodynamiczne ruchy z maksymalną prędkością do 1000 mm/s przy zakresie ruchu do 720 mm. Wysoka przepustowość próbek zapewnia szybką analizę i krótkie czasy cykli. Pomimo podwójnej wydajności, powierzchnia montażowa jest niezwykle mała dzięki kompaktowej konstrukcji. Podstawę czterech osi czystego pomieszczenia stanowi masywna, ciężka płyta granitowa, co pozwala osiągnąć doskonałe parametry przebiegu. Dzięki powtarzalności dokładności na poziomie 0,3 µm można uzyskać precyzyjne wyniki pomiarów i znaczne zwiększenie jakości.

Wysoki poziom indywidualizacji

System inspekcyjny jest dostarczany z w pełni zmierzoną dokładnością, wraz z zarządzaniem kablami, kontrolerem ruchu i otworami montażowymi do obudów. Różne usługi inżynieryjne i dostosowania specyficzne dla aplikacji umożliwiają precyzyjne dopasowanie. W ten sposób możliwa jest wersja z ustalaniem pionowym na stałe, ręcznym, napędem silnikowym z śrubą lub dynamicznym z pneumatycznie odciążonym napędem bezpośrednim do kompensacji wysokości przy pełnej interpolacji ruchu. Ponadto dostępnych jest wiele sterowników – z DLL i API do łatwej integracji oprogramowania, aż po podłączenie do sterowników PLC. Dzięki konstrukcji portalowej, podwójny pozycjoner wafli XYZ można łatwo zintegrować z istniejącymi liniami produkcyjnymi. Naprawa, konserwacja i obsługa są możliwe dzięki wymianie osi z wcześniej wyregulowanymi interfejsami wymiany, co zapewnia bardzo krótkie przestoje.

Większa wydajność w przemyśle półprzewodnikowym

Podwójna przepustowość na najmniejszej powierzchni montażowej: Podwójny pozycjoner wafli XYZ od Steinmeyer Mechatronik wyznacza standardy pod względem wydajności, przestrzeni montażowej oraz obsługi i umożliwia przemysłowi półprzewodników znaczne zwiększenie efektywności.