Dvojitý XYZ-pozicionér waferů pro polovodičový průmysl

Dvojitý XYZ-waferový pozicionér od Steinmeyer Mechatronik umožňuje dvojnásobný průchod na nejmenší ploše. (Copyright: Steinmeyer Mechatronik GmbH)

Kompaktní inspekční portál má celkem čtyři čisté místnosti a umožňuje automatizované kontrolování více objektů současně. (Copyright: Steinmeyer Mechatronik GmbH)

Se dvěma XYZ-wafer pozicionérem od Steinmeyer Mechatronik nabízí vysoce efektivní řešení pro analýzu a inspekci velkých waferů až do 12 palců nebo 300 mm. Inspekční portál se čtyřmi čistými prostorovými osami umožňuje automatizované testování více objektů současně a zajišťuje nejvyšší efektivitu.

Dvojitý XYZ-wafer pozicionér od Steinmeyer Mechatronik je vybaven dvěma osami X pro skenery nebo mikroskopy do 10 kg a dvěma osami Y pro chucky do 15 kg, což umožňuje kontrolu přední i zadní strany na jednom systému. Kompletně připravený pohybový systém je navržen pro provoz ve třísměnném režimu až do čisté třídy ISO 2, je extrémně kompaktní, má nízkou údržbu a lze jej přizpůsobit zákaznickým požadavkům.

Vysoce výkonné skenování waferů do 12 palců

Ať už se jedná o wafery do 12 palců nebo 300 mm, probe karty nebo desky plošných spojů: s dvojitým XYZ-wafer pozicionérem od Steinmeyer Mechatronik lze velké substráty rychle a přesně vyšetřit. Bezestředové přímé pohony umožňují vysoce dynamické pohyby s maximální rychlostí až 1000 mm/s při pohybových dráhách až 720 mm. Vysoká průchodnost vzorků zajišťuje rychlou analýzu a tím i krátké cykly. Přestože je výkon dvojnásobný, je plocha instalace díky kompaktní konstrukci extrémně malá. Základ tvoří masivní, těžký žulový blok, což dosahuje vynikajících hodnot v oblasti průběhu. Díky opakovací přesnosti 0,3 µm lze dosáhnout přesných měření a výrazného zvýšení kvality.

Vysoká míra individualizace

Inspekční systém je dodáván s plně kalibrovanou přesností, včetně kabelového managementu, řídicího systému a montážních děr pro kryty. Různé inženýrské služby a specifické úpravy podle aplikace umožňují přesné přizpůsobení. Vertikální posun může být volitelně pevný, manuální, motorický s šroubem nebo dynamický s pneumatiky odlehčeným přímým pohonem pro kompenzaci výšky při plně interpolovaném pohybu. Kromě toho je k dispozici široká škála řídicích systémů – s DLL a API pro snadnou softwarovou integraci až po propojení s PLC. Díky portálové konstrukci lze dvojitý XYZ-wafer pozicionér snadno integrovat do stávajících výrobních linek. Opravy, údržba a servis jsou řešeny výměnou pohybových modulů s předem seřízenými rozhraními, což minimalizuje dobu odstávky.

Vyšší efektivita v polovodičovém průmyslu

Dvojnásobný výkon na nejmenší ploše: Dvojitý XYZ-wafer pozicionér od Steinmeyer Mechatronik nastavuje standardy v oblasti výkonu, prostoru a manipulace a umožňuje polovodičovému průmyslu výrazné zvýšení efektivity.