Doppel-XYZ-Wafer-Positionierer für die Halbleiterindustrie

De dubbele XYZ-wafer-positiebewerker van Steinmeyer Mechatronik maakt dubbele doorvoer mogelijk op de kleinste verplaatsingsruimte. (Copyright: Steinmeyer Mechatronik GmbH)

Het compacte inspectieportaal beschikt over in totaal vier cleanroomassen en maakt de geautomatiseerde controle van meerdere objecten tegelijk mogelijk. (Copyright: Steinmeyer Mechatronik GmbH)

Met de dubbele XYZ-wafer-positievormer biedt Steinmeyer Mechatronik een zeer efficiënte oplossing voor de analyse en inspectie van grote wafers tot 12 inch of 300 mm. Het inspectieportaal met in totaal vier cleanroomassen maakt geautomatiseerde controle van meerdere objecten tegelijk mogelijk en garandeert de hoogste efficiëntie.

De dubbele XYZ-wafer-positievormer van Steinmeyer Mechatronik beschikt over twee X-as voor scanners of microscopen tot 10 kg en twee Y-as voor chucks tot 15 kg, waardoor het mogelijk is om de voor- en achterkant op één systeem te controleren. Het volledig operationele assysteem is ontworpen voor gebruik in drieploegendienst tot cleanroomklasse ISO 2, is uiterst compact gebouwd, onderhoudsarm en klant-specifiek configureerbaar.

Hoge doorvoer bij screening van wafers tot 12 inch

Of het nu wafers tot 12 inch of 300 mm, probe cards of printplaten zijn: met de dubbele XYZ-wafer-positievormer van Steinmeyer Mechatronik kunnen grote substraten snel en nauwkeurig worden onderzocht. Contactloze directe aandrijvingen realiseren hoogdynamische bewegingen met topsnelheden tot 1.000 mm/s bij verplaatsingswegen tot 720 mm. De hoge proefdoorvoer garandeert een snelle analyse en daarmee korte cyclustijden. Ondanks de dubbele doorvoer is de opstellingsruimte vanwege de compacte bouw uiterst gering. De basis voor de vier cleanroomassen vormt een massieve, zware granieten plaat, waardoor uitstekende doorvoercijfers worden bereikt. Dankzij de herhaalnauwkeurigheid van 0,3 µm kunnen nauwkeurige meetresultaten en enorme kwaliteitsverbeteringen worden gerealiseerd.

Hoge mate van individualiteit

Het inspectiesysteem wordt geleverd met volledig gemeten nauwkeurigheid, inclusief kabelbeheer, motion controller en bevestigingsgaten voor behuizingsmontage. Verschillende engineeringdiensten en toepassingsspecifieke aanpassingen maken een op maat gemaakte afstelling mogelijk. Zo kan de verticale verstelling optioneel vast, handmatig, motorisch met spindel of dynamisch met pneumatisch ontlast directe aandrijving voor hoogtecompensatie bij volledig geïnterpoleerde beweging plaatsvinden. Daarnaast is een verscheidenheid aan besturingssystemen beschikbaar – met DLL en API voor eenvoudige software-integratie tot en met PLC-aansluiting. Dankzij de portaalopbouw kan de dubbele XYZ-wafer-positievormer eenvoudig worden geïntegreerd in bestaande productielijnen. Reparatie, onderhoud en service worden uitgevoerd door assenwissel met vooraf afgestelde wisselinterfaces, met slechts zeer korte stilstandtijden.

Meer efficiëntie in de halfgeleiderindustrie

Dubbele doorvoer op de kleinste plaats: de dubbele XYZ-wafer-positievormer van Steinmeyer Mechatronik zet maatstaven op het gebied van prestaties, ruimtebesparing en gebruiksgemak en stelt de halfgeleiderindustrie in staat om aanzienlijke efficiëntieverbeteringen te realiseren.