Dupla-XYZ-öntapadós szilíciumlapka pozícionáló a félvezetőipar számára

A Steinmeyer Mechatronik dupla XYZ-öntvényhelyezője lehetővé teszi a duplázott átvitelt a legkisebb helyen. (Szerzői jog: Steinmeyer Mechatronik GmbH)

A kompakt ellenőrző portál összesen négy tisztatéri tengellyel rendelkezik, és lehetővé teszi több objektum egyidejű automatikus vizsgálatát. (Szerzői jog: Steinmeyer Mechatronik GmbH)

Az Steinmeyer Mechatronik által gyártott dupla XYZ szilíciumlapka-pozícionáló magas hatékonyságú megoldást kínál nagy, akár 12 hüvelykes vagy 300 mm-es lapkák elemzésére és ellenőrzésére. A négy tisztatéri tengellyel rendelkező ellenőrző portál lehetővé teszi több objektum egyidejű automatikus vizsgálatát, biztosítva a legmagasabb hatékonyságot.

A Steinmeyer Mechatronik dupla XYZ szilíciumlapka-pozícionálója két X-tengellyel rendelkezik, amelyek akár 10 kg-os szkennerek vagy mikroszkópok mozgatására alkalmasak, valamint két Y-tengellyel, amelyek akár 15 kg-os chuckokat kezelnek, lehetővé téve az elülső és hátsó oldal egyidejű vizsgálatát egy rendszerben. A teljesen üzemkész tengelyrendszer három műszakos működésre van tervezve, ISO 2 tisztatéri osztályig, rendkívül kompakt felépítésű, kevés karbantartást igényel, és ügyfél-specifikusan konfigurálható.

Magas átviteli sebességű szűrés 12 hüvelykes lapkákhoz

Legyen szó akár 12 hüvelykes vagy 300 mm-es lapkákról, probe-kártyákról vagy nyomtatott áramkörökről: a Steinmeyer Mechatronik dupla XYZ szilíciumlapka-pozícionálójával nagy felületeket lehet gyorsan és precízen vizsgálni. Vasmentes közvetlen meghajtások révén magas dinamikus mozgások valósíthatók meg, csúcssebességek akár 1.000 mm/s, mozgáshossz akár 720 mm esetén. A magas mintaátvitel gyors elemzést és rövid ciklusidőket garantál. A két szorzó átviteli sebesség ellenére a telepítési felület rendkívül kicsi a kompakt kialakítás miatt. A négy tisztatéri tengely alapját masszív, nehéz gránitlap képezi, amely kiváló működési értékeket biztosít. A 0,3 µm-es ismétlési pontosságnak köszönhetően precíz mérési eredmények és jelentős minőségjavulások érhetők el.

Magas szintű egyediséget kínáló kialakítás

A vizsgáló rendszer teljes mérési pontossággal, kábelkezeléssel, mozgásvezérlővel és szerelőnyílásokkal szállítva érkezik, amelyek lehetővé teszik a burkolatba történő beépítést. Különböző mérnöki szolgáltatások és alkalmazás-specifikus testreszabások biztosítják a pontos illeszkedést. A függőleges mozgatás lehet fix, kézi, motoros csavarmenettel vagy dinamikus, pneumatikusan tehermentesített közvetlen hajtással, amely magasságkompenzációt tesz lehetővé teljes interpolált mozgás mellett. Emellett számos vezérlési lehetőség áll rendelkezésre — DLL és API támogatással a szoftver könnyű integrációjához, egészen az SPS csatlakoztatásáig. A portálstruktúra lehetővé teszi a dupla XYZ lapka-pozícionáló egyszerű integrálását meglévő gyártósorokba. Javítás, karbantartás és szerviz gyorsan elvégezhető, tengelycserekkel, előre beállított váltófelületekkel, minimális állásidő mellett.

Hatékonyság növelése az félvezetőiparban

Kettős átviteli sebesség a legkisebb helyen: a Steinmeyer Mechatronik dupla XYZ szilíciumlapka-pozícionálója mércét állít a teljesítmény, a méret és a kezelhetőség terén, és jelentős hatékonyságnövekedést tesz lehetővé a félvezetőipar számára.