Posizionatore di wafer doppio-XYZ per l'industria dei semiconduttori

Il posizionatore doppio-XYZ wafer di Steinmeyer Mechatronik consente un doppio throughput su una superficie di posizionamento molto ridotta. (Copyright: Steinmeyer Mechatronik GmbH)

Il portale di ispezione compatto dispone di un totale di quattro assi di ambiente sterile e consente il controllo automatizzato di più oggetti contemporaneamente. (Copyright: Steinmeyer Mechatronik GmbH)

Con il posizionatore doppio XYZ per wafer, Steinmeyer Mechatronik offre una soluzione altamente efficiente per l'analisi e l'ispezione di grandi wafer fino a 12 pollici o 300 mm. Il portale di ispezione con un totale di quattro assi in ambiente sterile permette il controllo automatizzato di più oggetti contemporaneamente e garantisce la massima efficienza.

Il posizionatore doppio XYZ per wafer di Steinmeyer Mechatronik è dotato di due assi X per scanner o microscopi fino a 10 kg e due assi Y per chuck fino a 15 kg, consentendo l'ispezione di entrambe le facce su un unico sistema. Il sistema di assi completamente operativo è progettato per l'uso in turni tripli fino alla classe di cleanroom ISO 2, è estremamente compatto, a bassa manutenzione e configurabile su misura.

Screening ad alta produttività di wafer fino a 12 pollici

Che si tratti di wafer fino a 12 pollici o 300 mm, schede di prova o schede di circuito stampato: con il posizionatore doppio XYZ di Steinmeyer Mechatronik è possibile esaminare rapidamente e con precisione grandi substrati. I motori lineari senza ferro realizzano movimenti altamente dinamici con velocità di picco fino a 1.000 mm/s e percorsi fino a 720 mm. L'elevato throughput garantisce un'analisi rapida e quindi cicli di produzione brevi. Nonostante il doppio throughput, l'area di installazione è estremamente ridotta grazie alla costruzione compatta. La base per i quattro assi in ambiente sterile è costituita da un massiccio e pesante piano in granito, che permette di raggiungere valori di processo eccellenti. Grazie alla ripetibilità di 0,3 µm, è possibile ottenere risultati di misurazione precisi e miglioramenti qualitativi significativi.

Alto livello di personalizzazione

Il sistema di ispezione viene consegnato con precisione completa di misurazione, incluso gestione dei cavi, controller di movimento e fori di fissaggio per l'installazione in custodie. Diverse prestazioni di ingegneria e adattamenti specifici per applicazioni consentono una configurazione su misura. La regolazione verticale può essere fissa, manuale, motorizzata con vite o dinamica con azionamento diretto pneumaticamente scaricato per la compensazione dell'altezza durante il movimento completamente interpolato. Inoltre, sono disponibili numerosi controlli – con DLL e API per un'integrazione software senza sforzo fino all'integrazione con PLC. Grazie alla struttura a portale, il posizionatore doppio XYZ può essere facilmente integrato nei processi di linea esistenti. La riparazione, la manutenzione e la riparazione sono effettuate tramite cambio assi con interfacce di cambio pre-calibrate, con tempi di fermo molto ridotti.

Maggiore efficienza nell'industria dei semiconduttori

Doppio throughput in uno spazio minimo: il posizionatore doppio XYZ per wafer di Steinmeyer Mechatronik stabilisce nuovi standard in termini di prestazioni, ingombro e maneggevolezza, consentendo all'industria dei semiconduttori di ottenere significativi aumenti di efficienza.