Manipulateur à 6 axes pour l'inspection des semi-conducteurs

Le manipulateur à 6 axes de Steinmeyer Mechatronik réalise des processus d'alignement de haute précision dans l'inspection des semi-conducteurs. (Photo : Steinmeyer Mechatronik GmbH)

Le manipulateur à 6 axes de Steinmeyer Mechatronik combine une table croisée avec un tripode et offre ainsi un maximum de précision, de rigidité et de compacité. Une solution idéale pour les systèmes d'inspection de haute précision dans l'industrie des semi-conducteurs.

Avant la mesure ou l'usinage, les wafers et les optiques doivent être alignés avec une précision micrométrique. Cela nécessite des solutions de positionnement compactes, capables de réaliser de manière fiable et précise de petits déplacements de quelques millimètres ou degrés. Avec le manipulateur à 6 axes, Steinmeyer Mechatronik propose la solution adaptée. L'entreprise de Dresde est un fournisseur établi de systèmes de positionnement pour l'inspection des semi-conducteurs et connaît parfaitement les exigences spécifiques à l'application. Le manipulateur à 6 axes se distingue par une précision maximale dans la plage du submicromètre ainsi qu'une conception compacte, ce qui le rend idéal pour des processus d'alignement de haute précision.

Manipulateur à 6 axes de haute précision pour l'inspection des semi-conducteurs

Le manipulateur à 6 axes se compose d'une table croisée horizontale ainsi que d'un tripode pour le déplacement vertical et deux inclinaisons, combinant ainsi les avantages des constructions cartésiennes et parallèles dans un seul système. La course de déplacement cartésien XY est de ±15 mm, l'axe vertical du tripode est conçu pour des déplacements de ±10 mm. Les axes rotatifs Rx et Ry permettent des inclinaisons de ±2°, la rotation autour de la verticale Rz est de 360°. Grâce à une répétabilité de ±2,5 µm ou ±0,005°, des résultats d'alignement très précis peuvent être obtenus — et ce, avec des charges allant jusqu'à 15 kg.

Alignement des wafers et des optiques

Le manipulateur dispose d'une ouverture centrale de passage de 250 mm et peut être utilisé pour l'alignement de wafers et optiques jusqu'à 300 mm/12". Des versions spéciales sont disponibles pour des wafers et optiques plus grands de 450 mm/18". Le manipulateur à 6 axes est notamment utilisé lors de tests et de l'assemblage sur wafers et PCB, ainsi que pour des combinaisons d'inspection optique et d'usinage, par exemple lors du bonding de puces sur carte (microscope de mesure et soudure laser). Des versions pour salles blanches sont disponibles. La connexion se fait via EtherCAT, CAN, Ethernet ou Profibus. En fonction de l'environnement de la machine, des contrôleurs de mouvement pour Beckhoff, ACI ou Siemens peuvent être intégrés. Des interfaces logicielles préparées et des bibliothèques (API) pour tous les contrôleurs industriels courants et langages de programmation sont disponibles.

Spécialiste des solutions de positionnement mécatroniques sur mesure

Depuis plus de 150 ans, Steinmeyer Mechatronik développe et produit des solutions de positionnement innovantes, parfaitement adaptées à chaque application. Sur le site de Dresde, tous les départements — développement, mécanique, électronique, logiciel, fabrication, montage, laboratoires de mesure, centre d'essais — travaillent en réseau sous un même toit. Cela permet de maximiser les synergies et de réaliser rapidement et simplement les exigences spécifiques des clients.