6-tengelyes manipulátor a félvezetőellenőrzéshez

A Steinmeyer Mechatronik 6-tengelyes manipulátora rendkívül pontos igazítási folyamatokat valósít meg félvezető-ellenőrzés során. (Kép: Steinmeyer Mechatronik GmbH)

Steinmeyer Mechatronik hatmozgépszerkezet egy keresztasztalt egy tripoddal kombinál, így a legmagasabb pontosságot, merevséget és kompakt méretet éri el. Ideális megoldás a nagy pontosságú inspekciós rendszerekhez a félvezetőiparban.

A mérés vagy megmunkálás előtt a wafereket és optikákat mikrométerpontossággal kell igazítani. Ez kompakt pozícionáló megoldásokat igényel, amelyek kis léptékű mozgásokat – néhány milliméter vagy fok – megbízhatóan és magas pontossággal valósítanak meg. A Steinmeyer Mechatronik a 6-tengelyes manipulátorral kínálja a megfelelő megoldást. A drezdai vállalat egy jól ismert beszállító a pozícionáló rendszerekhez a félvezető inspekcióban, és pontosan ismeri az alkalmazás-specifikus követelményeket. A 6-tengelyes manipulátor a legmagasabb precizitást nyújtja szubmikrométeres tartományban, valamint kompakt kialakítású, így kiválóan alkalmas nagy pontosságú igazítási folyamatokra.

Magas precizitású 6-tengelyes manipulátor a félvezető inspekcióhoz

A 6-tengelyes manipulátor egy horizontális keresztasztalból és egy vertikális emelőtámaszból (tripod) áll, amely két döntő mechanizmussal kombinálva egy rendszerben ötvözi a kartéziánus és párhuzamos kinematikus szerkezetek előnyeit. A kartéziánus XY-állítás ±15 mm-es mozgástartományt biztosít, a tripod vertikális tengelye ±10 mm-es emelést tesz lehetővé. Az Rx és Ry forgó tengelyek ±2°-os döntést tesznek lehetővé, az Rz függőleges tengely körüli forgás pedig 360°. A ±2,5 µm vagy ±0,005° ismétlési pontosságnak köszönhetően rendkívül precíz igazítási eredmények érhetők el – és mindez akár 15 kg teherbírással.

Waferek és optikák igazítása

A manipulátor központi átfogó nyílással rendelkezik, amely 250 mm átmérőjű, és akár 300 mm/12" méretű waferek és optikák igazítására is alkalmas. Nagyobb, 450 mm/18" méretű waferek és optikák esetén egyedi kivitelek is elérhetők. A 6-tengelyes manipulátort többek között a tesztelés és kötés során használják wafereken és nyomtatott áramkörökön (PCB), valamint optikai inspekció és megmunkálás kombinációjára, például chip-on-board kötésnél (mérőmikroszkóp és lézeres forrasztás). Kaphatók tisztatéri kivitelek is. A csatlakozás EtherCAT, CAN, Ethernet vagy Profibus segítségével történik. A gépi környezet függvényében Beckhoff, ACI vagy Siemens mozgásvezérlőket lehet integrálni. Előre konfigurált szoftveres interfészek és könyvtárak állnak rendelkezésre minden általánosan használt ipari vezérléshez és magas szintű programozási nyelvhez (API).

Személyre szabott mechatronikus pozícionáló megoldások szakértője

A Steinmeyer Mechatronik több mint 150 éve fejleszt és gyárt innovatív, az adott alkalmazáshoz tökéletesen illeszkedő pozícionáló megoldásokat. A drezdai telephelyen minden részleg – fejlesztés, mechanika, elektronika, szoftver, gyártás, összeszerelés, mérőlaborok, tesztközpont – egy fedél alatt működik. Ez lehetővé teszi a szinergiák optimális kihasználását és a speciális ügyféligények gyors és egyszerű kielégítését.