6-osiční manipulátor pro inspekci polovodičů

Šestiosý manipulátor od Steinmeyer Mechatronik realizuje vysoce přesné procesy zarovnání v inspekci polovodičů. (Obrázek: Steinmeyer Mechatronik GmbH)

6-ose manipulátory od Steinmeyer Mechatronik kombinují křížový stůl s tripodem a tím dosahují maximální přesnosti, tuhosti a kompaktnosti. Ideální řešení pro vysoce přesné inspekční systémy v polovodičovém průmyslu.

Před měřením nebo obráběním musí být wafery a optiky mikrometrově přesně vyrovnány. To vyžaduje kompaktní polohovací řešení, které spolehlivě a s vysokou přesností realizuje malé posuvy v řádu několika milimetrů nebo stupňů. S 6-osem manipulátorem nabízí Steinmeyer Mechatronik vhodné řešení. Dresdenská společnost je zavedeným dodavatelem polohovacích systémů pro inspekci polovodičů a přesně zná specifické požadavky aplikací. 6-ose manipulátor se vyznačuje nejvyšší přesností v submikrometrovém rozsahu a kompaktní konstrukcí, a je tak ideální pro vysoce přesné vyrovnávací procesy.

Vysoce přesný 6-ose manipulátor pro inspekci polovodičů

6-ose manipulátor sestává z křížového stolu v horizontální rovině a tripodu pro vertikální zdvih a dvě naklápění, čímž kombinuje výhody kartézských a paralelních konstrukcí v jednom systému. Kartézní XY posuv realizuje dráhy pohybu ±15 mm, vertikální osa tripodu je dimenzována na zdvihy ±10 mm. Rotující osy Rx a Ry umožňují naklápění o ±2°, rotace kolem svislé osy Rz činí 360°. Díky opakovací přesnosti ±2,5 µm nebo ±0,005° lze dosáhnout velmi přesných výsledků vyrovnání – a to při zatížení až do 15 kg.

Vyrovnávání waferů a optik

Manipulátor má centrální průchozí otvor o průměru 250 mm a lze jej použít pro vyrovnávání waferů a optik do velikosti 300 mm / 12". Pro větší wafery a optiky o rozměru 450 mm / 18" jsou k dispozici speciální provedení. 6-ose manipulátor se používá například při testování a bondingu na waerech a PCB, stejně jako pro kombinaci optické inspekce a obrábění, například při bondingování čipů na desky (měřicí mikroskop a laserové pájení). K dispozici jsou provedení vhodná do čistých prostor. Připojení je možné přes EtherCAT, CAN, Ethernet nebo Profibus. V závislosti na prostředí stroje lze integrovat pohybové řadiče od Beckhoff, ACI nebo Siemens. K dispozici jsou předpřipravené softwarové rozhraní a knihovny pro všechny běžné průmyslové řídicí systémy a vysoké programovací jazyky (API).

Specialista na zakázková mechatronická polohovací řešení

Steinmeyer Mechatronik již více než 150 let vyvíjí a vyrábí inovativní, na konkrétní použití dokonale přizpůsobená polohovací řešení. Ve dřevěném závodě pracují všechny oddělení – vývoj, mechanika, elektronika, software, výroba, montáž, měřicí laboratoře, testovací centrum – v úzké spolupráci pod jednou střechou. Díky tomu lze optimalizovat synergie a rychle a jednoduše realizovat specifické požadavky zákazníků.