Manipulator 6-DoF für die Halbleiterinspektion

6-osiowy manipulator firmy Steinmeyer Mechatronik realizuje precyzyjne procesy wyrównania w inspekcji półprzewodników. (Zdjęcie: Steinmeyer Mechatronik GmbH)

6-osi manipulator Steinmeyer Mechatronik łączy stół krzyżowy z tripodem i w ten sposób osiąga najwyższy poziom precyzji, sztywności i kompaktowości. Idealne rozwiązanie dla systemów inspekcji o wysokiej dokładności w przemyśle półprzewodników.

Przed pomiarem lub obróbką wafle i optyki muszą być ustawione mikrometrową dokładnością. Wymaga to kompaktowych rozwiązań pozycjonujących, które niezawodnie i z wysoką precyzją realizują małe zakresy przesuwu od kilku milimetrów lub stopni. Steinmeyer Mechatronik oferuje odpowiednie rozwiązanie w postaci 6-osi manipulatora. Dresdnerska firma jest uznanym dostawcą systemów pozycjonujących w inspekcji półprzewodników i doskonale zna specyficzne wymagania aplikacyjne. 6-osi manipulator wyróżnia się najwyższą precyzją w zakresie submikrometra oraz kompaktową budową, co czyni go idealnym do precyzyjnych procesów wyrównania.

Wysoce precyzyjny 6-osi manipulator do inspekcji półprzewodników

6-osi manipulator składa się z poziomego stołu krzyżowego oraz tripodu do pionowego podnoszenia i dwóch przechyłów, łącząc zalety konstrukcji kartezjańskiej i równoległkowej w jednym systemie. Kartezjańska regulacja XY realizuje zakres ruchu od ±15 mm, a oś pionowa tripodu jest przystosowana do podnoszenia do ±10 mm. Oś obrotowa Rx i Ry umożliwia przechyły do ±2°, a obrót wokół osi pionowej Rz wynosi 360°. Dzięki powtarzalności dokładności ±2,5 µm lub ±0,005° można osiągnąć bardzo precyzyjne wyniki wyrównania – przy tym obsługuje obciążenia do 15 kg.

Wyrównanie wafli i optyk

Manipulator posiada centralne otwory doświetlające o średnicy 250 mm i może być używany do wyrównania wafli i optyk o rozmiarze do 300 mm/12". Dla większych wafli i optyk o rozmiarze 450 mm/18" dostępne są wersje specjalne. Manipulator 6-osi znajduje zastosowanie m.in. podczas testowania i lutowania na waflach i PCB, a także w połączeniu inspekcji optycznej i obróbki, na przykład przy bondingu chip-on-board (mikroskop pomiarowy i laserowe lutowanie). Dostępne są wersje do pomieszczeń czystych. Połączenie odbywa się za pomocą EtherCAT, CAN, Ethernet lub Profibus. W zależności od środowiska maszynowego można zintegrować kontrolery ruchu dla Beckhoff, ACI lub Siemens. Dostępne są przygotowane interfejsy programowe i biblioteki dla wszystkich popularnych sterowników przemysłowych i języków wysokiego poziomu (API).

Specjalista w dziedzinie indywidualnych rozwiązań mechatronicznych do pozycjonowania

Od ponad 150 lat Steinmeyer Mechatronik rozwija i produkuje innowacyjne rozwiązania do pozycjonowania, idealnie dopasowane do konkretnej aplikacji. W siedzibie w Dreźnie wszystkie działy – rozwój, mechanika, elektronika, oprogramowanie, produkcja, montaż, laboratoria pomiarowe, centrum testowe – pracują pod jednym dachem, co pozwala na optymalne wykorzystanie synergii i szybkie, bezproblemowe realizowanie specyficznych wymagań klientów.