6-assige manipulator voor de halfgeleiderinspectie

De 6-assige manipulator van Steinmeyer Mechatronik voert uiterst nauwkeurige uitlijnprocessen uit bij halfgeleiderinspectie. (Afbeelding: Steinmeyer Mechatronik GmbH)

De 6-assige manipulator van Steinmeyer Mechatronik combineert een kruisbank met een tripod en bereikt daarmee een maximale precisie, stijfheid en compactheid. Een ideale oplossing voor hoogprecisie inspectiesystemen in de halfgeleiderindustrie.

Voor het meten of bewerken moeten wafers en optieken micronauwkeurig worden uitgelijnd. Dit vereist compacte positioneringsoplossingen die kleine verplaatsingswegen van enkele millimeters of graden betrouwbaar en hoogwaardig uitvoeren. Met de 6-assige manipulator biedt Steinmeyer Mechatronik de juiste oplossing. Het Dresdense bedrijf is een gevestigde leverancier van positioneringssystemen voor halfgeleiderinspectie en kent de toepassingsspecifieke eisen precies. De 6-assige manipulator onderscheidt zich door de hoogste precisie in het sub-micrometergebied en een compacte bouwvorm, en is daarmee uitermate geschikt voor hoogprecisie uitlijningsprocessen.

Hoge precisie 6-assige manipulator voor de halfgeleiderinspectie

De 6-assige manipulator bestaat uit een kruisbank in horizontale richting en een tripod voor verticale beweging en twee kantelingen, en combineert daarmee de sterktes van cartesiaanse en parallelkinematische constructies in één systeem. De cartesiaanse XY-verstelling realiseert verplaatsingswegen van ±15 mm, de verticale as van de tripod is ontworpen voor bewegingen van ±10 mm. De roterende assen Rx en Ry maken kantelingen mogelijk van ±2°, de rotatie om de verticale as Rz bedraagt 360°. Dankzij de herhaalnauwkeurigheid van ±2,5 µm respectievelijk ±0,005° kunnen zeer precieze uitlijningsresultaten worden bereikt – en dat bij hoge belastingen tot 15 kg.

Uitlijnen van wafers en optieken

De manipulator beschikt over een centrale doorlichtopening van 250 mm en kan worden ingezet voor het uitlijnen van wafers en optieken tot 300 mm/12". Voor grotere wafers en optieken van 450 mm/18" zijn speciale uitvoeringen mogelijk. De 6-assige manipulator wordt onder andere gebruikt bij testen en bonding op wafers en PCB's, evenals voor combinaties van optische inspectie en bewerking, bijvoorbeeld bij chip-on-board bonding (meetmicroscoop en lasersolderen). Versies voor cleanroomgebruik zijn beschikbaar. De aansluiting verloopt via EtherCAT, CAN, Ethernet of Profibus. Afhankelijk van de machineomgeving kunnen motion controllers voor Beckhoff, ACI of Siemens worden geïntegreerd. Voorgeconfigureerde softwareinterfaces en bibliotheken voor alle gangbare industriële besturingssystemen en programmeertalen (API) zijn beschikbaar.

Specialist in maatwerk mechatronische positioneringsoplossingen

Al meer dan 150 jaar ontwikkelt en produceert Steinmeyer Mechatronik innovatieve, op de toepassing afgestemde positioneringsoplossingen. Op de locatie in Dresden werken alle afdelingen – ontwikkeling, mechanica, elektronica, software, productie, montage, meetlaboratoria, testcentrum – onder één dak. Zo kunnen synergieën optimaal worden benut en kunnen specifieke klantwensen snel en eenvoudig worden gerealiseerd.