Manipulador de 6 ejes para la inspección de semiconductores

El manipulador de 6 ejes de Steinmeyer Mechatronik realiza procesos de alineación de alta precisión en la inspección de semiconductores. (Imagen: Steinmeyer Mechatronik GmbH)

El manipulador de 6 ejes de Steinmeyer Mechatronik combina una mesa cruzada con un trípode y logra así el máximo nivel de precisión, rigidez y compacidad. Una solución ideal para sistemas de inspección de alta precisión en la industria de semiconductores.

Antes de medir o procesar, los wafers y las ópticas deben alinearse con micrómetro de precisión. Esto requiere soluciones de posicionamiento compactas que realicen desplazamientos pequeños de unos pocos milímetros o grados de manera fiable y de alta precisión. Con el manipulador de 6 ejes, Steinmeyer Mechatronik ofrece la solución adecuada. La empresa de Dresde es un proveedor establecido de sistemas de posicionamiento en la inspección de semiconductores y conoce exactamente los requisitos específicos de la aplicación. El manipulador de 6 ejes se caracteriza por una precisión máxima en el rango submicrométrico, así como por un diseño compacto, y está hecho a medida para procesos de alineación de alta precisión.

Manipulador de 6 ejes de alta precisión para la inspección de semiconductores

El manipulador de 6 ejes consiste en una mesa cruzada en horizontal y un trípode para elevación vertical y dos inclinaciones, combinando así las ventajas de las construcciones cartesiana y paralelogramática en un solo sistema. La desplazamiento cartesiano en XY realiza recorridos de ±15 mm, y el eje vertical del trípode está diseñado para desplazamientos de ±10 mm. Los ejes rotatorios Rx y Ry permiten inclinaciones de ±2°, y la rotación alrededor de la vertical Rz alcanza 360°. Gracias a una repetibilidad de ±2,5 µm o ±0,005°, se pueden obtener resultados de alineación muy precisos, incluso con cargas altas de hasta 15 kg.

Alineación de wafers y ópticas

El manipulador cuenta con una abertura central de paso de 250 mm y puede utilizarse para alinear wafers y ópticas de hasta 300 mm/12". Para wafers y ópticas de mayor tamaño, de 450 mm/18", se pueden realizar versiones especiales. El manipulador de 6 ejes se emplea, entre otras cosas, en pruebas y ensamblaje en wafers y PCBs, así como en combinaciones de inspección óptica y procesamiento, por ejemplo, en el bonding de chips en tarjetas (microscopio de medición y soldadura láser). Disponibles versiones para ambientes de sala limpia. La conexión se realiza mediante EtherCAT, CAN, Ethernet o Profibus. Según el entorno de la máquina, se pueden integrar controladores de movimiento para Beckhoff, ACI o Siemens. Se disponen de interfaces de software preparadas y bibliotecas para todos los sistemas de control industriales y lenguajes de programación (API).

Especialista en soluciones de posicionamiento mecatrónicas a medida

Durante más de 150 años, Steinmeyer Mechatronik desarrolla y produce soluciones de posicionamiento innovadoras, perfectamente adaptadas a cada aplicación. En la sede de Dresde, todos los departamentos — desarrollo, mecánica, electrónica, software, fabricación, montaje, laboratorios de medición, centro de pruebas — trabajan en red bajo un mismo techo. De este modo, se pueden aprovechar las sinergias de manera óptima y realizar rápidamente y sin complicaciones las demandas específicas de los clientes.