Manipolatore a 6 assi per l'ispezione dei semiconduttori

Il manipolatore a 6 assi di Steinmeyer Mechatronik realizza processi di allineamento di alta precisione nell'ispezione dei semiconduttori. (Immagine: Steinmeyer Mechatronik GmbH)

Il manipolatore a 6 assi di Steinmeyer Mechatronik combina un tavolo a croce con un tripode e ottiene così il massimo livello di precisione, rigidità e compattezza. Una soluzione ideale per sistemi di ispezione ad alta precisione nell'industria dei semiconduttori.

Prima di misurare o lavorare, wafer e ottiche devono essere allineati con precisione micrometrica. Ciò richiede soluzioni di posizionamento compatte, che realizzino in modo affidabile e altamente preciso piccoli percorsi di regolazione di pochi millimetri o gradi. Con il manipolatore a 6 assi, Steinmeyer Mechatronik offre la soluzione adatta. L'azienda di Dresda è un fornitore consolidato di sistemi di posizionamento per l'ispezione dei semiconduttori e conosce bene le esigenze specifiche delle applicazioni. Il manipolatore a 6 assi si distingue per la massima precisione nel campo sub-micrometro e per una costruzione compatta, rendendolo ideale per processi di allineamento ad alta precisione.

Manipolatore a 6 assi di alta precisione per l'ispezione dei semiconduttori

Il manipolatore a 6 assi è composto da un tavolo a croce in orizzontale e da un tripode per l'alzata verticale e due inclinazioni, combinando così i punti di forza delle strutture cartesiane e a cinematica parallela in un unico sistema. La regolazione cartesiana XY realizza percorsi di ±15 mm, l'asse verticale del tripode è progettato per alzate di ±10 mm. Gli assi rotatori Rx e Ry consentono inclinazioni di ±2°, la rotazione intorno all'asse verticale Rz è di 360°. Grazie alla ripetibilità di ±2,5 µm o ±0,005°, è possibile ottenere risultati di allineamento molto precisi – e tutto ciò con carichi elevati fino a 15 kg.

Allineamento di wafer e ottiche

Il manipolatore dispone di un'apertura centrale di passaggio di 250 mm e può essere utilizzato per l'allineamento di wafer e ottiche fino a 300 mm/12". Per wafer e ottiche più grandi, da 450 mm/18", sono disponibili versioni speciali. Il manipolatore a 6 assi viene impiegato, tra l'altro, nel testing e nel bonding su wafer e PCB, nonché in combinazioni di ispezione ottica e lavorazione, ad esempio nel bonding chip-on-board (microscopio di misura e saldatura laser). Sono disponibili versioni per ambienti di cleanroom. La connessione avviene tramite EtherCAT, CAN, Ethernet o Profibus. A seconda dell'ambiente della macchina, possono essere integrati motion controller per Beckhoff, ACI o Siemens. Sono disponibili interfacce software e librerie pronte all'uso per tutti i controlli industriali più diffusi e linguaggi di programmazione (API).

Specialista in soluzioni di posizionamento meccatronico su misura

Da oltre 150 anni, Steinmeyer Mechatronik sviluppa e produce soluzioni di posizionamento innovative, perfettamente adattate alle singole applicazioni. La sede di Dresda ospita tutti i reparti – sviluppo, meccanica, elettronica, software, produzione, montaggio, laboratori di misurazione, centro di prova – tutti integrati sotto un unico tetto. In questo modo, le sinergie vengono sfruttate al massimo e le esigenze specifiche dei clienti possono essere soddisfatte in modo rapido e semplice.