-
- Elektronika (wafer, félvezető, mikrochipek,...)
Imec és anyagbeszállítói optimalizálják a kémiailag megerősített ellenállásokon (CAR) alapuló platformjaikat az EUV-egyedi struktúráláshoz, nagy numerikus nyílással (NA) rendelkező vonalszerkezetekhez, 22 nm-es pitch-csel, amelyek támogatják az A14/A10 logikai tervezéseket
Imec bemutatja a kémiailagil erősített ellenállások továbbfejlesztését az EUV-litográfiához magas numerikus nyílás (NA) mellett
– Az Imec optimalizálja a CAR-alapú technológiát a magas NA értékű EUV egyedi mintázási eljárásokhoz több logikai technológiai csomóponton, A14/A10.
– Különböző logikai struktúrákat mutattak be szoros távolságokkal az érintkezővezetékekben és átmenő furatokban, többek között hullámos és ágabogas E-te…








