-
- Elektronika (wafer, półprzewodniki, mikroczipy,...)
Imec i jego dostawcy materiałów optymalizują swoje platformy oparte na chemicznie wzmocnionych rezystach (CAR) dla pojedynczej struktury EUV z wysoką aperturą numeryczną (NA) do linii o rozstawie 22 nm, obsługujące projekty logiki A14/A10
Imec demonstruje dalszy rozwój chemicznie wzmocnionych rezystów do litografii EUV z wysoką aperturą numeryczną (NA)
– Imec optymalizuje technologię opartą na CAR dla metod pojedynczego wzoru z wysoką NA w zakresie EUV na kilku warstwach technologii logiki A14/A10.
– Zademonstrowano różne struktury logiki o wąskich odstępach w metalowych liniach i przezłączeniach, w tym struktury E typu meander i rozgałęzione, z od…








