Lapos forgótáblák a lapkakezeléshez

A lapos Steinmeyer forgótárcsák lehetővé teszik egy hatékony, gazdaságos és egyben nagyon helytakarékos wafer-kezelést. (Kép: Steinmeyer csoport)

A Steinmeyer csoportot elismert szakértőként tartják számon a pozícionálási megoldások tervezésében, fejlesztésében és gyártásában, amelyek összetett felhasználási területeken, például szilíciumlapka- és chipek gyártásában alkalmazhatók. Például a DT200 és DT310 sorozat forgótárcsái. Ezek a rendkívül precíz forgórendszerek laposak, tisztatéri környezetben is használhatók, karbantartásmentesek, valamint egyedi igények szerint testreszabhatók, lehetővé téve hatékony, gazdaságos és helytakarékos szilíciumlapka-kezelést.

A forgótárcsák vagy forgóasztalok képesek mintákat és alkatrészeket pontosan egy meghatározott szögben pozícionálni. Ehhez az alkalmazásnak megfelelően optimális hajtást és mérőrendszert szerelnek fel. A félvezetőipar tisztatéri környezetében további követelmények merülnek fel, különösen a részecskeszám csökkentése, sugárzásállóság, kompakt méret és karbantartásmentesség tekintetében. A Steinmeyer DT200 és DT310 sorozatú forgótárcsái ezeket a követelményeket 100%-ban kielégítik, és ideális megoldást nyújtanak akár 8" (200 mm) méretű lapkák (DT200) vagy 12" (300 mm) méretű lapkák (DT310) kezelésére.

Kiváló pontossági értékek minimális helyigénnyel

A jellemző a lapos kialakítás (DT200 = 40 mm, DT310 = 60 mm). Ez jelentősen csökkenti az eszközfejlesztők helyigényét. A rendkívül precíz forgómozgás, akár ± 0,004° lépésekben, biztosítja a lapkák pontos igazítását, és garantálja a legjobb minőséget minimális selejtrátával. A nagy nyílás (átmérő 66-tól 100 mm-ig) elegendő teret biztosít a forgattyű, a áthaladó mérés és a rétegvastagság-mérés integrálásához.

A forgótárcsák képesek 6-12 kg súlyú mintákat és tartókat fogadni, és alapértelmezés szerint egy DC-motorral vannak felszerelve. Opcióként elérhető léptetőmotor vagy AC-szervo motor, motor-encoderrel és különböző mérőrendszer-megoldásokkal, például nagy felbontású optikai szögmérő rendszerrel a pontos pozícióméréshez. A vezérlés ügyfélspecifikus interfészeken (DLL, API), készre szerelt mozgásvezérlőn, például példakódokkal ellátott szoftverrel vagy a PLC-architektúrákba, illetve az ACS-környezetekbe történő integrációval valósítható meg.

Tisztatéri környezetre alkalmas forgótárcsák kiváló alkalmazkodóképességgel

A teljes burkolatnak köszönhetően a bevált forgótárcsa-sorozat alacsony részecskeszámú kibocsátással rendelkezik, így ideális tisztatéri környezetben való használatra (változatok ISO 5 tisztatéri osztályig, opcionálisan ISO 1 osztályig kérésre). A rendszerek 24/7 üzemmódban karbantartás nélkül működnek, és ügyfélspecifikus adapterek, burkolatok és kiegészítők segítségével könnyen integrálhatók már meglévő berendezésekbe. A csúszófelület interfész módosítható és az alkalmazásspecifikus követelményekhez igazítható, például egyedi furatmintával, megnövelt párhuzamosságú felülettel, integrált forgattyűvel vagy gyorscsatlakozó interfésszel.

A felületi tulajdonságok és sugárzásállóság tekintetében sincsenek korlátozások. Legyen szó eloxált, tiszta alumínium felületről, Bilatal vagy nikkel bevonatról az optimális folyamatosság érdekében (pl. különösen magas tisztasági szintek, vegyszerekkel szembeni ellenállás az élet tudományi területen), UV, DUV vagy EUV (röntgen, gamma kérésre): a Steinmeyer DT200 és DT310 sorozatú forgótárcsái minden követelménynek és környezetnek ideálisan megfelelnek.