Tavoli girevoli piatti per la movimentazione dei wafer

I tavoli rotanti Steinmeyer piatti consentono una gestione dei wafer efficiente, economica e allo stesso tempo molto compatta. (Immagine: Gruppo Steinmeyer)

Il gruppo Steinmeyer è riconosciuto come specialista nella progettazione, sviluppo e produzione di soluzioni di posizionamento avanzate per la produzione di wafer e chip. Un esempio sono i tavoli rotanti delle serie DT200 e DT310. I sistemi di rotazione ad alta precisione sono piatti, adatti per ambienti sterili, a manutenzione zero, personalizzabili e consentono una gestione dei wafer efficiente, economica e molto compatta.

I tavoli rotanti o di rotazione possono posizionare campioni e componenti con precisione in un angolo definito. Per questo vengono dotati, a seconda dell'applicazione, di un sistema di azionamento e di misurazione ottimale. Negli ambienti di sala pulita dell'industria dei semiconduttori si aggiungono ulteriori requisiti, soprattutto in termini di basso rilascio di particelle, resistenza alle radiazioni, compattezza e assenza di manutenzione. I tavoli rotanti delle serie DT200 e DT310 di Steinmeyer soddisfano questi requisiti al 100% e sono la soluzione ideale per la gestione di wafer fino a una dimensione di 8" / 200 mm (DT200) o 12" / 300 mm (DT310).

Eccellenti valori di precisione con minimo ingombro

Caratteristica è la struttura compatta (DT200 = 40 mm, DT310 = 60 mm). Ciò riduce significativamente lo spazio necessario per gli sviluppatori di impianti. La rotazione ad alta precisione con passi fino a ± 0,004° garantisce un allineamento preciso dei wafer e assicura la migliore qualità con il minimo tasso di scarto. L'ampia apertura (diametro 66 fino a 100 mm) offre spazio sufficiente per integrare la rotazione, la misurazione a transito e la misurazione dello spessore delle pellicole.

I tavoli rotanti possono accogliere campioni con supporto di un peso tra 6 e 12 kg e sono dotati di un motore DC standard. Opzionalmente è disponibile un motore passo-passo o un servo AC con encoder motore e diverse soluzioni di sistema di misurazione, ad esempio un sistema di misurazione angolare ottico ad alta risoluzione per una misurazione precisa della posizione. Il controllo avviene tramite interfacce personalizzate (DLL, API), un controller di movimento pronto all'uso con software di esempio o l'integrazione in architetture PLC o ambienti ACS.

Tavoli rotanti adatti per ambienti sterili con elevata adattabilità

Grazie alla completa involucro, la collaudata serie di tavoli rotanti si distingue per una bassa emissione di particelle ed è quindi ideale per l'uso in ambienti sterili (versioni fino a classe ISO 5, opzionalmente fino a classe ISO 1 su richiesta). I sistemi funzionano in modalità 24/7 senza manutenzione e, grazie ad adattatori, coperture e componenti aggiuntivi personalizzati, possono essere facilmente integrati in impianti già esistenti. Anche l'interfaccia del chuck può essere modificata e adattata alle esigenze specifiche dell'applicazione, ad esempio tramite forature personalizzate, superficie di appoggio con elevata planarità, rotazione integrata o tramite l'uso di un'interfaccia a cambio rapido.

Per quanto riguarda le caratteristiche superficiali e la resistenza alle radiazioni, non ci sono limitazioni. Che si tratti di superfici anodizzate, alluminio lucido, Bilatal o nichel per la massima compatibilità con il processo (ad esempio, elevati livelli di purezza, resistenza alla pulizia con sostanze chimiche nel settore Life Science), o UV, DUV o EUV (raggi X, gamma su richiesta): i tavoli rotanti Steinmeyer delle serie DT200 e DT310 sono ottimizzati per tutte le esigenze e condizioni ambientali.