Platte draaibare tafels voor waferhandling

De platte Steinmeyer-rotatietafels maken een efficiënte, kosteneffectieve en tegelijkertijd zeer ruimtebesparende waferhandling mogelijk. (Afbeelding: Steinmeyer Groep)

De Steinmeyer Groep wordt erkend als een toonaangevende specialist in de constructie, ontwikkeling en productie van veeleisende positioneringsoplossingen voor wafer- en chipproductie. Een voorbeeld hiervan zijn de draaibanken van de series DT200 en DT310. De hoogprecisie rotatiesystemen zijn plat, geschikt voor cleanrooms, onderhoudsvrij, en aanpasbaar aan klantenspecificaties, waardoor een efficiënt, kosteneffectief en tegelijkertijd zeer ruimtebesparend waferhandling mogelijk is.

Draaibanken of roterende tafels kunnen monsters en componenten nauwkeurig in een gedefinieerde hoek positioneren. Hiervoor worden ze afhankelijk van de toepassing uitgerust met een optimale aandrijving en meetsysteem. In cleanroomomgevingen binnen de halfgeleiderindustrie komen aanvullende eisen bij, vooral met betrekking tot stofvrijheid, stralingsbestendigheid, compactheid en onderhoudsvrijheid. De draaibanken van de series DT200 en DT310 van Steinmeyer voldoen voor 100 % aan deze eisen en vormen een ideale oplossing voor het hanteren van wafers tot een grootte van 8" / 200 mm (DT200) respectievelijk 12" / 300 mm (DT310).

Uitstekende nauwkeurigheidswaarden bij minimale ruimtegebruik

Kenmerkend is de platte bouwvorm (DT200 = 40 mm, DT310 = 60 mm). Dit vermindert de ruimtebehoefte voor systeemontwikkelaars aanzienlijk. De hoogprecisie draai beweging met stappen tot ± 0,004° garandeert een exacte uitlijning van de wafers en verzekert de beste kwaliteit met minimale afkeuringspercentages. De grote opening (diameter 66 tot 100 mm) biedt voldoende ruimte voor de integratie van de draaidurchgang, doorlichtmeting en diktemeting.

De draaibanken kunnen monsters inclusief houder met een gewicht van 6 tot 12 kg opnemen en beschikken over een standaard DC-motor. Optioneel is een stappenmotor of AC-servo met motor-encoder en verschillende meetsystemen beschikbaar, bijvoorbeeld een hoogwaardig optisch hoekmeetssysteem voor precieze positiebepaling. De bediening gebeurt via klantenspecifieke interfaces (DLL, API), een kant-en-klare motioncontroller met voorbeeldsoftware, of de integratie in PLC-architecturen of ACS-omgevingen.

Cleanroom-geschikte draaibanken met uitstekende aanpassingsmogelijkheden

Door de volledige behuizing onderscheidt de bewezen draaibankserie zich door een lage stofvrijgave en is daardoor ideaal voor gebruik in cleanrooms (varianten tot ISO 5 klasse, optioneel tot ISO 1 op aanvraag). De systemen werken onderhoudsvrij in 24/7-bedrijf en kunnen dankzij klantenspecifieke adapters, afdekkingen en accessoires probleemloos worden geïntegreerd in bestaande systemen. Ook het chuck-interface kan worden aangepast en afgestemd op de specifieke toepassingsvereisten, bijvoorbeeld door middel van een klantenspecifiek boorpatroon, een contactoppervlak met verhoogde paralleliteit, geïntegreerde draaidurchgang of door gebruik te maken van een snelwisselinterface.

Wat betreft oppervlakteafwerking en stralingsbestendigheid zijn er eveneens geen beperkingen. Of het nu geanodiseerd, blank gelakt aluminium, Bilatal of nikkel is voor optimale procesgeschiktheid (bijvoorbeeld bijzonder hoge zuiverheidsgraden, bestand tegen chemische reiniging in de life sciences), of UV, DUV of EUV (röntgenstraling, gamma op aanvraag): de Steinmeyer-draaibanken van de series DT200 en DT310 zijn voor alle eisen en omgevingsomstandigheden optimaal uitgerust.