Mesas giratorias planas para el manejo de obleas

Las mesas giratorias Steinmeyer planas permiten un manejo de obleas eficiente, económico y al mismo tiempo muy ahorrador de espacio. (Imagen: Grupo Steinmeyer)

El grupo Steinmeyer es reconocido como un especialista en la construcción, desarrollo y fabricación de soluciones de posicionamiento exigentes para la fabricación de obleas y chips. Un ejemplo son las mesas giratorias de las series DT200 y DT310. Los sistemas de rotación de alta precisión son planos, aptos para salas limpias, libres de mantenimiento, personalizables y permiten un manejo eficiente, económico y al mismo tiempo muy compacto de obleas.

Las mesas giratorias o mesas de rotación pueden posicionar muestras y componentes con precisión en un ángulo definido. Para ello, se equipan según la aplicación con un accionamiento y un sistema de medición óptimos. En los entornos de salas limpias de la industria de semiconductores, se añaden otros requisitos, especialmente en cuanto a bajo nivel de partículas, resistencia a radiaciones, compacidad y libertad de mantenimiento. Las mesas giratorias de las series DT200 y DT310 de Steinmeyer cumplen estos requisitos al 100 % y son una solución ideal para el manejo de obleas de hasta 8”/200 mm (DT200) o 12”/300 mm (DT310).

Excelentes valores de precisión con un espacio mínimo

Se caracteriza por su diseño compacto (DT200 = 40 mm, DT310 = 60 mm). Esto reduce significativamente el espacio necesario para los desarrolladores de sistemas. El movimiento de rotación de alta precisión con pasos hasta ± 0,004° garantiza una alineación exacta de las obleas y asegura la mejor calidad posible con una tasa de rechazo mínima. La gran apertura (diámetro de 66 a 100 mm) ofrece suficiente espacio para la integración de la transmisión de rotación, medición por luz transmitida y medición de espesor de capa.

Las mesas giratorias pueden soportar muestras, incluyendo el soporte, con un peso de 6 a 12 kg y cuentan con un motor DC estándar. Opcionalmente, está disponible un motor paso a paso o un servo de CA con codificador de motor y varias soluciones de sistema de medición, por ejemplo, un sistema de medición angular óptico de alta resolución para una medición de posición precisa. La control se realiza mediante interfaces personalizadas (DLL, API), un controlador de movimiento listo para usar con software de ejemplo o mediante integración en arquitecturas PLC o entornos ACS.

Mesas giratorias aptas para salas limpias con excelente capacidad de adaptación

Gracias a su carcasa completa, la serie de mesas giratorias probada se caracteriza por una baja liberación de partículas y es, por tanto, ideal para su uso en salas limpias (versiones hasta clase ISO 5, opcional hasta clase ISO 1 bajo petición). Los sistemas funcionan sin mantenimiento en operación 24/7 y, gracias a adaptadores, cubiertas y componentes adicionales personalizados, se integran fácilmente en sistemas ya existentes. También se puede modificar la interfaz del portabobinas y adaptarla a los requisitos específicos de la aplicación, por ejemplo, mediante un patrón de perforación personalizado, una superficie de apoyo con mayor paralelismo, transmisión de rotación integrada o mediante el uso de una interfaz de cambio rápido.

En cuanto a la calidad superficial y resistencia a radiaciones, tampoco existen limitaciones. Ya sea limpiado por anodizado, aluminio limpio, bilatal o níquel para una óptima compatibilidad con procesos (por ejemplo, grados de pureza particularmente altos, resistencia a la limpieza con productos químicos en el sector de ciencias de la vida), o UV, DUV o EUV (rayos X, gamma bajo petición): las mesas giratorias de Steinmeyer de las series DT200 y DT310 están perfectamente preparadas para todos los requisitos y condiciones ambientales.