Płaskie stoły obrotowe do obsługi wafli

Płaskie stoły obrotowe Steinmeyer umożliwiają wydajne, ekonomiczne i jednocześnie bardzo oszczędne w miejscu obsługiwanie wafli. (Zdjęcie: Steinmeyer Gruppe)

Grupa Steinmeyer jest uznanym specjalistą w zakresie konstrukcji, rozwoju i produkcji zaawansowanych rozwiązań pozycjonujących do produkcji wafli i układów scalonych. Przykładem są stoły obrotowe z serii DT200 i DT310. Wysoce precyzyjne systemy obrotowe są płaskie, czyste w środowisku czystych pomieszczeń, bezobsługowe oraz dostosowywalne do potrzeb klienta, umożliwiając efektywną, ekonomiczną i jednocześnie bardzo oszczędną w miejscu obsługę wafli.

Stoły obrotowe lub rotacyjne mogą precyzyjnie ustawiać próbki i elementy w zdefiniowanym kącie. W tym celu są one wyposażone w optymalny napęd i system pomiarowy, dostosowane do konkretnej aplikacji. W środowiskach czystych przemysłu półprzewodnikowego pojawiają się dodatkowe wymagania, zwłaszcza w zakresie niskiej emisji cząstek, odporności na promieniowanie, kompaktowości i bezobsługowości. Stoły obrotowe serii DT200 i DT310 firmy Steinmeyer spełniają te wymagania w 100% i stanowią idealne rozwiązanie do obsługi wafli o rozmiarze do 8”/200 mm (DT200) lub 12”/300 mm (DT310).

Wspaniałe wartości precyzji przy minimalnym zapotrzebowaniu na miejsce

Cechą charakterystyczną jest płaska konstrukcja (DT200 = 40 mm, DT310 = 60 mm). Znacznie zmniejsza to zapotrzebowanie na miejsce dla projektantów urządzeń. Wysoce precyzyjny ruch obrotowy z krokami do ± 0,004° zapewnia dokładne ustawienie wafli i gwarantuje najlepszą jakość przy minimalnym wskaźniku odpadów. Duża aperturowość (średnica 66 do 100 mm) zapewnia wystarczająco miejsca na integrację z obrotnicą, pomiarem przez światło i pomiarem grubości warstw.

Stoły obrotowe mogą pomieścić próbki wraz z uchwytem o wadze od 6 do 12 kg i są wyposażone w standardowy silnik DC. Opcjonalnie dostępny jest silnik krokowy lub serwo AC z enkoderem silnika i różnymi rozwiązaniami systemów pomiarowych, na przykład wysokorozdzielczym optycznym systemem pomiaru kąta do precyzyjnego pomiaru pozycji. Sterowanie odbywa się za pomocą niestandardowych interfejsów (DLL, API), gotowego do użycia kontrolera ruchu z przykładowym oprogramowaniem lub integracji z architekturami PLC lub środowiskami ACS.

Czystościowe stoły obrotowe o doskonałej elastyczności dostosowania

Dzięki pełnej obudowie, sprawdzona seria stołów obrotowych charakteryzuje się niską emisją cząstek i jest idealna do zastosowania w czystych pomieszczeniach (warianty do klasy czystości ISO 5, opcjonalnie do klasy ISO 1 na życzenie). Systemy pracują bezobsługowo w trybie 24/7 i dzięki niestandardowym adapterom, osłonom i elementom montażowym można je łatwo zintegrować z już istniejącymi urządzeniami. Interfejs chwytaka można również modyfikować i dostosować do specyficznych wymagań aplikacji, na przykład poprzez niestandardowy układ otworów, powierzchnię podparcia z podwyższoną równoległością, zintegrowaną obrotnicę lub zastosowanie szybkiego interfejsu wymiany.

Pod względem właściwości powierzchni i odporności na promieniowanie nie ma żadnych ograniczeń. Niezależnie od tego, czy jest to czyszczenie anodowane, czysta aluminium, bilatal czy nikiel dla optymalnej przydatności do procesu (np. szczególnie wysokie czystości, odporność na chemikalia stosowane w dziedzinie nauk o życiu), czy UV, DUV czy EUV (rentgen, gamma na życzenie): Stoły obrotowe Steinmeyer z serii DT200 i DT310 są optymalnie przygotowane do wszystkich wymagań i warunków środowiskowych.