Plochá otočná stolová zařízení pro manipulaci s wafery

Plochá otáčecí stolice Steinmeyer umožňují efektivní, hospodárné a zároveň velmi úsporné manipulace s wafery. (Obrázek: Steinmeyer Gruppe)

Skupina Steinmeyer je považována za předního specialistu na konstrukci, vývoj a výrobu náročných řešení pro polohování určených pro výrobu waferů a čipů. Příkladem jsou otočné stoly řad DT200 a DT310. Vysoce přesné rotační systémy jsou ploché, vhodné do čistých prostor, bezúdržbové, přizpůsobitelné zákazníkovi a umožňují efektivní, ekonomické a zároveň velmi úsporné manipulace s wafery.

Otočné nebo rotační stoly mohou přesně umístit vzorky a součásti v definovaném úhlu. K tomu jsou podle použití vybaveny optimálním pohonem a měřicím systémem. V prostředí čistých prostor v polovodičovém průmyslu přicházejí na řadu další požadavky, zejména pokud jde o nízkou tvorbu částic, odolnost vůči záření, kompaktnost a bezúdržbovost. Otočné stoly řad DT200 a DT310 od Steinmeyeru tyto požadavky splňují na 100 % a jsou ideálním řešením pro manipulaci s wafery až do velikosti 8" / 200 mm (DT200) nebo 12" / 300 mm (DT310).

Vynikající přesnost při minimální potřebě místa

Charakteristická je plochá konstrukce (DT200 = 40 mm, DT310 = 60 mm). To výrazně snižuje prostorové nároky pro vývojáře zařízení. Vysoce přesný rotační pohyb s krokem až ± 0,004° zajišťuje přesné vyrovnání waferů a garantuje nejvyšší kvalitu s minimální mírou odpadu. Velká apertura (průměr 66 až 100 mm) poskytuje dostatek prostoru pro integraci otáčivého průchodu, průsvitného měření a měření tloušťky vrstev.

Otočné stoly mohou pojmout vzorky včetně držáku s hmotností od 6 do 12 kg a jsou vybaveny standardním stejnosměrným motorem. Volitelně je k dispozici krokový motor nebo střídavý servo motor s enkodérem a různými řešeními měřicích systémů, například vysoce rozlišený optický úhloměr pro přesné měření polohy. Ovládání je možné přes zákaznické rozhraní (DLL, API), připravený motion controller s ukázkovým softwarem nebo integraci do řídicích systémů PLC či prostředí ACS.

Čisté prostory a vysoce přizpůsobitelné otočné stoly

Celková uzavřená konstrukce činí z osvědčené série otočných stolů nízkou tvorbu částic, což je ideální pro použití v čistých prostorách (varianty až do třídy ISO 5, volitelně až do třídy ISO 1 na požádání). Systémy pracují bezúdržbově 24/7 a díky zákaznickým adaptérům, krytům a příslušenství je lze snadno integrovat do již existujících zařízení. Také rozhraní pro chuck lze upravit a přizpůsobit specifickým požadavkům aplikace, například pomocí vlastního rozložení děr, povrchu s vyšší rovnoběžností, integrovaného otáčivého průchodu nebo použití rychloupínacího rozhraní.

Co se týče povrchové úpravy a odolnosti vůči záření, neexistují žádná omezení. Ať už je povrch eloxován, čisté hliníkové povrchy, bilatal nebo nikl pro optimální procesní použití (například zvlášť vysoké čistoty, odolnost vůči chemickým čištěním v oblasti Life Science), nebo UV, DUV či EUV (rentgenové, gama záření na požádání): otočné stoly Steinmeyer řad DT200 a DT310 jsou ideálně vybaveny pro všechny požadavky a podmínky prostředí.