Költségek megtakarítása tökéletes körülmények között

Teljesen fémmentes tisztaterek

Munkaáttekintés - A bútorok is fémmentesek

Figyelés

Tökéletes feltételek a modern félvezető technológiákhoz

Tökéletes feltételek a modern félvezető technológiákhoz

Irodai munkaállomás

Az MK Versuchsanlagen különleges berendezésgyártó mind fémmentes nedves, mind száraz munkalapokat gyárt.

Ideális körülmények között dolgozni, miközben jelentős költségeket takarít meg, ez lehetséges az új fejlesztésű fémmentes nedves-száraz munkapad segítségével, amelyet a MK Különleges Berendezések és Laborberendezések Kft. dob piacra.

A minienvironmentként kialakított nedves-száraz munkapad a legmagasabb tisztaságot biztosít a helyszínen. Ez különösen érdekes a félvezetőtechnológiai munkafolyamatok során, ahol a legmagasabb tisztasági szintek szükségessége csak közvetlenül a munkahelyen van (ISO 3 tisztatéri osztály).

Az energiaigény akár 50%-kal csökkenthető a légkezelésben

Mint minden más fémmentes berendezés a MK Különleges Berendezések kínálatában, a nedves-száraz munkapad saját fejlesztésű szellőzőrendszerrel van ellátva, amely jelentősen csökkenti az energiafelhasználást. A fejlesztők szerint az intelligens légkezeléssel akár 50%-os energia megtakarítás érhető el. Különösen érdekes, hogy a meglévő tisztaterekhez való utólagos felszerelés egy speciális légkondicionáló koncepcióval könnyen megvalósítható, még kritikus légterek esetén is, így itt is megvalósítható az energiatakarékos hatás. Természetesen a fémmentes munkapadok a legmagasabb korrózió- és termékvédelemmel is rendelkeznek.

Az önfejlesztésű hardver- és szoftver lehetővé teszi a könnyű integrációt a meglévő rendszerekbe

A nedves-száraz munkapadba beépíthető egy Quick Dump Rinse (QDR) medence a félvezetőlapok tisztítására. A QDR medence moduláris felépítésű, és folyamatmedencéből valamint gyűjtőmedencéből áll. A folyamatmedencében történik a félvezetőlapok vagy a waferkocsik tisztítása. A tisztítás egy permetező rendszerrel történik, amely a medencét magas tisztaságú vízzel tölti fel, így megállítva az etching folyamatot a félvezetőlapokon. A szennyeződések eltávolítására a lapokat a nyitott szelep által keletkezett szívóerővel kifújják.

A QDR medence műszaki adatai

- Anyag: Korszerű műanyag – Polipropilén (PP)
- Térfogat: 22,5 liter
- Túlfolyó védelem: 360°
- Permetező fúvókák száma: 8
- Töltési idő: kb. 120 másodperc
- Leeresztési idő: kb. 10 másodperc
- Max. waferkocsi méret: akár 8"
- Öblítő közeg: DI-víz
- QDR leeresztő szelep: 2,5 – 5,6 kg/cm²

Ahogyan a MK Különleges Berendezések összes hardvereszköze, a szoftver is a gyártó saját fejlesztése. Ennek nagy előnye, hogy a meglévő, magasabb szintű digitális rendszerekbe való integrálás sokkal egyszerűbbé válik. Lehetséges közvetlen GLT-Integráció, valamint csatlakozás LIMS vagy MES rendszerekhez OPC UA interfészen keresztül (Ipar 4.0). Így lehetőség nyílik egy optimális környezet kialakítására, amely minden folyamatot és folyamatgépet integrál a minienvironments-be.

A nedves-száraz munkapad műszaki felszereltsége

- Automata elülső tolóajtó egyéni beállítással
- Világító sorompó
- VSR csatlakozások a beszíváshoz és a kipufogáshoz
- Világítás (sárga fény is)
- Munkakamra nyomásellenőrzéssel a folyamatbiztonság érdekében
- Hőmérséklet-ellenőrzés a munkakamrában és a kipufogónál
- Jelző LED és hangjelző
- PLC vezérlés
- Frisslevegő szűrő (H14 osztály)

Választható felszereltség a nedves-száraz munkapadhoz

- Beépített átjáró a szomszédos munkapadhoz
- Csatlakozások termikus oldószer egységhez (TAE)
- Szolgáltató egységek a megrendelő igénye szerint (egyedi vizsgálat)
- Kezelőelemek a média kezeléséhez (kéz, láb, kijelző)
- Ultrahangos medence
- Kipufogó szűrő és kipufogó permetezés
- Alul elhelyezett öblítés
- Elválasztó fal
- Csatlakozási lehetőségek hőmérséklet-ellenőrzéshez
- Távoli karbantartás megrendelő kérésére
- Ionizátor
- Quick Dump Rinse medence
- Folyamatmedence
- Öblítő medence
- Spin Coater

A 1988-ban alapított MK Különleges Berendezések és Laborberendezések Kft. fémmentes tisztatéri berendezéseket és tisztatéri rendszereket fejleszt és gyárt. Emellett a portfólióhoz tartoznak a kesztyűtesztelő készülékek, amelyek lehetővé teszik a felhasználók számára a költséghatékony és automatizált kesztyűellenőrzést. A hosszú évek óta tartó globális gyógyszer- és laboratóriumi kapcsolatok révén a MK termékei a legmagasabb minőségi elvárásoknak felelnek meg. A MK Különleges Berendezések ISO 9001:2015 szabvány szerint tanúsított ipari vállalat.