Économiser des coûts dans des conditions parfaites

Salles blanches entièrement sans métal

Aperçu du travail - Même le mobilier est sans métal

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Conditions parfaites pour les technologies modernes des semi-conducteurs

Conditions parfaites pour les technologies modernes des semi-conducteurs

Poste de travail assis

Le fabricant d'installations spéciales MK Versuchsanlagen produit à la fois des armoires de travail humides et sèches sans métal.

Travailler dans des conditions parfaites tout en réalisant des économies substantielles, c'est possible avec le nouveau poste de travail humide-sèche sans métal, développé par le fabricant d'installations spéciales MK Versuchsanlagen und Laborbedarf e.K. sur le marché.

Le poste de travail humide-sèche conçu comme un mini-environnement assure une propreté maximale sur le lieu de l'opération. Ceci est particulièrement intéressant pour les processus de travail dans la technologie des semi-conducteurs, où la nécessité des niveaux de pureté les plus élevés n'est requise qu'au poste de travail (classe de salle blanche ISO 3).

Réduction de la consommation d'énergie jusqu'à 50 % grâce à une gestion intelligente de l'air

Comme toutes les autres installations sans métal de MK Versuchsanlagen, le poste de travail humide-sèche dispose d'un système de ventilation développé par MK Versuchsanlagen lui-même, qui permet une réduction significative de la consommation d'énergie. Les développeurs estiment qu'une climatisation par gestion intelligente de l'air peut permettre des économies d'énergie allant jusqu'à 50 %. Il est particulièrement intéressant de noter qu'une mise à niveau dans des salles blanches existantes via un concept de ventilation spécifique, même en cas de ventilation critique, est facilement réalisable, permettant ainsi de bénéficier également de cet effet d'économie d'énergie. Bien entendu, les postes de travail sans métal offrent également une protection contre la corrosion et les produits de haute qualité.

Une hardware et un software développés en interne permettent une intégration simple dans les systèmes existants

Un bassin Quick Dump Rinse (QDR) pour le nettoyage des plaquettes de semi-conducteurs peut être intégré au poste de travail humide-sèche. Le bassin QDR est modulable et se divise en un bassin de processus et un bassin de récupération. Le nettoyage des plaquettes ou du porte-wafers se fait dans le bassin de processus. Le nettoyage est réalisé via un système de pulvérisation qui remplit le bassin avec de l'eau ultrapure, arrêtant ainsi le processus d'attaque sur les semi-conducteurs. Pour éliminer les contaminants des plaquettes, celles-ci sont évacuées par le flux d'aspiration créé lors de l'ouverture de la valve.

Caractéristiques techniques du bassin QDR

- Matériau : plastique de haute technologie – Polypropylène (PP)
- Capacité : 22,5 litres
- Dispositif de trop-plein : 360°
- Nombre de buses de pulvérisation : 8
- Temps de remplissage : environ 120 secondes
- Temps de vidange : environ 10 secondes
- Taille du porte-wafers : jusqu'à 8"
- Médium de rinçage : eau DI
- Valve de vidange QDR : 2,5 – 5,6 kg/cm²

Comme tout le matériel de MK Versuchsanlagen, le logiciel est également une création propre du fabricant d'installations spéciales. Cela présente l'avantage majeur qu'une intégration dans des systèmes numériques supérieurs existants est beaucoup plus simple à réaliser. L'intégration directe dans la gestion technique du bâtiment (GTB) est possible, tout comme la connexion à des systèmes LIMS ou MES via une interface OPC UA (Industrie 4.0). Il est ainsi possible de créer un environnement optimal intégrant tous les processus et équipements de processus dans les mini-environnements.

Caractéristiques techniques du poste de travail humide-sèche

- Chariot frontal automatisé avec réglage individuel
- Barrière lumineuse
- Connexions VSR pour l'air d'entrée et de sortie
- Éclairage (y compris lumière jaune)
- Chambre de travail avec surveillance de la pression pour la sécurité du processus
- Surveillance de la température de la chambre de travail et de l'air d'évacuation
- LED de signalisation et buzzer
- Contrôleur PLC
- Filtre d'air d'entrée (classe H14)

Options pour le poste de travail humide-sèche

- Passe-plat intégré vers le poste de travail voisin
- Connexions pour unité de dissolution thermique (TAE)
- Approvisionnement en médias selon la demande du client (évaluation individuelle)
- Commandes pour médias (manuelle, pied, écran)
- Bassin à ultrasons
- Épurateurs d'air d'évacuation et brumisation de l'air
- Nettoyage sous le sol
- Cloison
- Possibilités de surveillance de la température
- Maintenance à distance sur demande du client
- Ioniseur
- Bassin Quick Dump Rinse
- Bassin de processus
- Bassin de rinçage
- Spin Coater

Le fabricant d'installations spéciales MK Versuchsanlagen und Laborbedarf e.K., fondé en 1988, conçoit et construit des systèmes et salles blanches sans métal. Sont également inclus dans le portefeuille des appareils de test de gants, permettant aux utilisateurs de vérifier les gants de manière économique et automatisée. Grâce à une relation commerciale de longue date avec des entreprises pharmaceutiques et laboratoires de renommée mondiale, les produits MK Versuchsanlagen répondent aux exigences de qualité les plus strictes. MK Versuchsanlagen est une entreprise certifiée ISO 9001:2015.