Oszczędzanie kosztów przy idealnych warunkach

Komplett metallfreie Reinräume

Przegląd prac - Również meble są wolne od metalu

Monitorowanie

Perfekte Bedingungen für moderne Halbleitertechnologien

Perfekte Bedingungen für moderne Halbleitertechnologien

stanowisko pracy siedzącej

Zarówno metalowe, jak i bezmetalowe szafki do pracy na mokro i na sucho produkuje producent specjalistycznych urządzeń MK Versuchsanlagen

Pracować w idealnych warunkach i jednocześnie znacznie obniżyć koszty — to możliwe dzięki nowo opracowanemu, bezmetalowemu, mokro-suchemu stołowi roboczemu, który wprowadza na rynek producent specjalistycznych urządzeń i laboratoriów MK Versuchsanlagen und Laborbedarf e.K.

Stoły robocze mokro-suche wyznaczają najwyższą czystość w miejscu pracy. Jest to szczególnie interesujące dla procesów w technologii półprzewodników, gdzie konieczność utrzymania najwyższych poziomów czystości jest wymagana bezpośrednio przy stanowisku pracy (klasa czystości ISO 3).

Możliwość redukcji zużycia energii nawet do 50 procent w zarządzaniu powietrzem

Jak wszystkie inne bezmetalowe urządzenia MK Versuchsanlagen, mokro-suche stoły robocze wyposażone są w własnoręcznie opracowaną wentylację, która prowadzi do znacznej redukcji zużycia energii. Projektanci zakładają, że dzięki inteligentnemu zarządzaniu powietrzem można zaoszczędzić do 50 procent energii podczas klimatyzacji. Szczególnie interesujące jest to, że modernizacja istniejących czystych pomieszczeń za pomocą specjalnej koncepcji wentylacji, nawet w przypadku krytycznych warunków wentylacyjnych, jest łatwa do wykonania i pozwala na osiągnięcie efektu oszczędności energii. Oczywiście, bezmetalowe stoły robocze zapewniają również najwyższą ochronę przed korozją i produktami.

Opracowane własnoręcznie oprogramowanie i sprzęt umożliwiają łatwą integrację z istniejącymi systemami

Do mokro-suchego stołu roboczego można zintegrować zbiornik Quick Dump Rinse (QDR) do czyszczenia płyt półprzewodnikowych. Zbiornik QDR jest modułowy i składa się z zbiornika procesowego oraz zbiornika zbierającego. W zbiorniku procesowym odbywa się czyszczenie płyt półprzewodnikowych lub carrierów. Czyszczenie odbywa się za pomocą systemu natryskowego, który napełnia zbiornik wysokiej czystości wodą, zatrzymując proces etching na płytach. Aby usunąć zanieczyszczenia z płyt, są one wypłukiwane dzięki podciśnieniu powstającemu podczas otwierania zaworu.

Dane techniczne zbiornika QDR

- Materiał: nowoczesny plastik – polipropylen (PP)
- Pojemność: 22,5 litra
- Zbiornik przelewowy: 360°
- Liczba dysz natryskowych: 8
- Czas napełniania: ok. 120 sekund
- Czas opróżniania: ok. 10 sekund
- Wielkość carrierów: do 8”
- Medium płuczące: woda DI
- Zawór spustowy QDR: 2,5 – 5,6 kg / cm²

Podobnie jak cała elektronika od MK Versuchsanlagen, oprogramowanie jest własną produkcją producenta specjalistycznych urządzeń. Ma to dużą zaletę, ponieważ integracja z istniejącymi, nadrzędnymi systemami cyfrowymi jest znacznie prostsza. Bezpośrednia integracja z systemem GLT jest możliwa, podobnie jak podłączenie do systemów LIMS lub MES poprzez interfejs OPC UA (Przemysł 4.0). Dzięki temu można stworzyć optymalne środowisko, które integruje wszystkie procesy i urządzenia w mini-środowiskach.

Wyposażenie techniczne mokro-suchego stołu roboczego

- Zautomatyzowany przedni przesuw z indywidualnym ustawieniem
- Czujnik światłowodowy
- Złącza VSR do dopływu i odprowadzenia powietrza
- Oświetlenie (w tym światło żółte)
- Komora robocza z monitoringiem ciśnienia dla bezpieczeństwa procesu
- Monitoring temperatury komory roboczej i odciągu
- Sygnalizator LED i syrena
- Sterownik PLC
- Filtr dopływu powietrza (klasa H14)

Opcjonalne wyposażenie mokro-suchego stołu roboczego

- Zintegrowany przelew do sąsiedniego stołu roboczego
- Złącza do jednostki termicznego rozkładu (TAE)
- Zaopatrzenie mediów na życzenie klienta (indywidualne badania)
- Elementy obsługi mediów (ręczne, nożne, wyświetlacz)
- Zbiornik ultradźwiękowy
- Oczyszczacz powietrza i nawilżacz
- Podłogowe mycie
- Przegroda
- Możliwości podłączenia do monitorowania temperatury
- Zdalne wsparcie techniczne na życzenie klienta
- Jonizator
- Zbiornik Quick Dump Rinse
- Zbiornik procesowy
- Zbiornik płuczący
- Spin Coater

Producent specjalistycznych urządzeń MK Versuchsanlagen und Laborbedarf e.K., założony w 1988 roku, opracowuje i buduje bezmetalowe systemy czystych pomieszczeń i czyste pomieszczenia. Do oferty należą również urządzenia do kontroli rękawic, które umożliwiają użytkownikom kosztowo efektywne i zautomatyzowane sprawdzanie rękawic. Dzięki wieloletnim relacjom biznesowym z wiodącymi na świecie firmami farmaceutycznymi i laboratoriami, produkty MK Versuchsanlagen spełniają najwyższe standardy jakości. MK Versuchsanlagen jest certyfikowanym zakładem przemysłowym zgodnie z ISO 9001:2015.