Ahorro de costos en condiciones perfectas

Habitaciones limpias completamente libres de metal

Resumen del trabajo - También el mobiliario es libre de metal

Vigilancia

Condiciones perfectas para las tecnologías modernas de semiconductores

Condiciones perfectas para las tecnologías modernas de semiconductores

Lugar de trabajo sentado

Tanto los armarios de trabajo húmedos sin metal como los secos son fabricados por el fabricante de equipos especiales MK Versuchsanlagen

Trabajar bajo condiciones perfectas y ahorrar costos significativos, eso es posible con la nueva mesa de trabajo húmeda-seca sin metal desarrollada por MK Versuchsanlagen und Laborbedarf e.K., fabricante de equipos especiales.

La mesa de trabajo húmeda-seca diseñada como un mini entorno crea la máxima limpieza en el lugar de trabajo. Esto es especialmente interesante para procesos de trabajo en la tecnología de semiconductores, donde la necesidad de los niveles más altos de pureza solo es necesaria directamente en el puesto de trabajo (clase de sala limpia ISO 3).

Reducción del consumo de energía de hasta un 50 por ciento en la gestión del aire posible

Como todos los demás sistemas sin metal de MK Versuchsanlagen, la mesa de trabajo húmeda-seca cuenta con un sistema de ventilación desarrollado por MK Versuchsanlagen que conduce a una reducción significativa en el consumo de energía. Los desarrolladores estiman que, mediante una climatización con gestión inteligente del aire, se pueden lograr ahorros de energía de hasta un 50 por ciento. Es especialmente interesante que una actualización en salas limpias existentes mediante un concepto de ventilación especial, incluso en casos de ventilación crítica, sea sencilla y permita también aquí realizar el efecto de ahorro energético. Por supuesto, las mesas de trabajo sin metal también ofrecen la máxima protección contra la corrosión y los productos.

El hardware y software desarrollados por nosotros permiten una fácil integración en sistemas existentes

Se puede integrar en la mesa de trabajo húmeda-seca un recipiente Quick Dump Rinse (QDR) para la limpieza de placas de semiconductores. El recipiente QDR está construido de forma modular y se divide en un recipiente de proceso y un recipiente de recolección. En el recipiente de proceso se realiza la limpieza de las placas de semiconductores o del portador de obleas. La limpieza se realiza mediante un sistema de rociado que llena el recipiente con agua de alta pureza, deteniendo así el proceso de etching en las placas de semiconductores. Para eliminar las contaminaciones de las placas, estas son arrastradas por la succión que se genera al abrir la válvula.

Datos técnicos del recipiente QDR

- Material: Plástico de alta tecnología – Polipropileno (PP)
- Capacidad: 22,5 litros
- Reja de desbordamiento: 360°
- Número de boquillas de rociado: 8
- Tiempo de llenado: aproximadamente 120 segundos
- Tiempo de drenaje: aproximadamente 10 segundos
- Tamaño del portador de obleas: hasta 8”
- Medio de lavado: agua DI
- Válvula de drenaje QDR: 2,5 – 5,6 Kg / cm²

Al igual que todo el hardware de MK Versuchsanlagen, el software también es un desarrollo propio del fabricante de equipos especiales. Esto tiene la gran ventaja de que su integración en sistemas digitales superiores existentes es mucho más sencilla. La integración directa en la gestión de salas (GLT) es tan posible como la conexión a sistemas LIMS o MES mediante una interfaz OPC UA (Industria 4.0). De este modo, es posible crear un entorno óptimo que integre todos los procesos y equipos en los mini entornos.

Equipamiento técnico de la mesa de trabajo húmeda-seca

- Cajón frontal automatizado con ajuste individual
- Rejilla de luz
- Conexiones VSR para entrada y salida de aire
- Iluminación (también luz amarilla)
- Cámara de trabajo con supervisión de presión para seguridad del proceso
- Supervisión de temperatura en la cámara de trabajo y en la salida de aire
- LED de señal y zumbador
- Control SPS
- Filtro de entrada de aire (Clase H14)

Equipamiento opcional de la mesa de trabajo húmeda-seca

- Paso integrado para la mesa de trabajo adyacente
- Conexiones para unidad de disolución térmica (TAE)
- Suministro de medios según solicitud del cliente (evaluación individual)
- Componentes de mando para medios (manual, pie, pantalla)
- Recipiente ultrasónico
- Deshumidificadores y nebulizadores de salida de aire
- Limpieza por debajo del suelo
- Tabique divisor
- Posibilidades de conexión para supervisión de temperatura
- Mantenimiento remoto a solicitud del cliente
- Ionizador
- Recipiente Quick Dump Rinse
- Recipiente de proceso
- Recipiente de lavado
- Spin Coater

El fabricante de equipos especiales MK Versuchsanlagen und Laborbedarf e.K., fundado en 1988, desarrolla y fabrica sistemas y salas limpias sin metal. Además, su cartera incluye dispositivos de prueba de guantes que permiten a los usuarios verificar los guantes de manera rentable y automatizada. Gracias a su larga relación comercial con empresas farmacéuticas y laboratorios líderes en todo el mundo, los productos de MK Versuchsanlagen cumplen con los más altos estándares de calidad. MK Versuchsanlagen es una empresa industrial certificada según ISO 9001:2015.