Kosten besparen bij optimale omstandigheden

Volledig metaalvrije cleanrooms

Arbeitsübersicht - Auch das Mobiliar ist metallfrei

Monitoring

Perfecte omstandigheden voor moderne halfgeleidertechnologieën

Perfecte omstandigheden voor moderne halfgeleidertechnologieën

zitwerkplek

Zowel metalen vrije natte als droge werkbanken produceert de fabrikant van speciale installaties MK Versuchsanlagen

Onder perfecte omstandigheden werken en tegelijkertijd aanzienlijke kosten besparen, dat is mogelijk met de nieuw ontwikkelde metaalvrije nat-droog werkbank die de fabrikant van speciale installaties MK Versuchsanlagen und Laborbedarf e.K. op de markt brengt.

De als minienvironments ontworpen nat-droog werkbank zorgt voor de hoogste netheid op de werkplek. Dit is vooral interessant voor werkprocessen in de halfgeleidertechnologie, waarbij de noodzaak van de hoogste reinheidsniveaus alleen direct op de werkplek nodig is (Cleanroomklasse ISO 3).

Reductie van het energieverbruik tot wel 50 procent mogelijk in het luchtbeheer

Net als alle andere metaalvrije installaties van MK Versuchsanlagen beschikt de nat-droog werkbank over een door MK Versuchsanlagen zelf ontwikkelde ventilatie, die leidt tot een aanzienlijke vermindering van het energieverbruik. De ontwikkelaars gaan ervan uit dat bij klimaatbeheersing door slim luchtbeheer energiebesparingen tot 50 procent mogelijk zijn. Vooral interessant is dat een retrofit in bestaande cleanrooms eenvoudig mogelijk is door een speciaal ventilatieconcept, zelfs bij kritische ventilatieomstandigheden, waardoor ook hier het energiebesparende effect kan worden gerealiseerd. Uiteraard bieden de metaalvrije werkbanken ook de hoogste corrosie- en productbescherming.

Zelf ontwikkelde hardware en software maken eenvoudige integratie in bestaande systemen mogelijk

In de nat-droog werkbank kan een Quick Dump Rinse (QDR)-bak worden geïntegreerd voor het reinigen van halfgeleiderplaten. De QDR-bak is modulair opgebouwd en bestaat uit een procesbak en een opvangbak. In de procesbak worden de halfgeleiderplaten of de wafercarrier gereinigd. De reiniging gebeurt via een sproeisysteem dat de bak vult met hoogwaardig water en zo het etsen stopt op de halfgeleiderplaten. Om verontreinigingen van de platen te verwijderen, worden deze door de zuigkracht die ontstaat bij het openen van het ventiel, weggespoeld.

Technische gegevens van de QDR-bak

- Materiaal: Hoogwaardig kunststof – Polypropyleen (PP)
- Inhoud: 22,5 liter
- Overloopbeveiliging: 360°
- Aantal sproeikoppen: 8
- Vulduur: ca. 120 seconden
- Aflostijd: ca. 10 seconden
- Grootte wafercarrier: tot 8“
- Spoelmedium: DI-water
- QDR-afsluitventiel: 2,5 – 5,6 kg/cm²

Net als de gehele hardware van MK Versuchsanlagen is ook de software een eigen ontwikkeling van de fabrikant van speciale installaties. Dit heeft het grote voordeel dat een integratie in bestaande, overkoepelende digitale systemen veel eenvoudiger kan worden gerealiseerd. Directe GLT-integratie is mogelijk, evenals aansluiting op LIMS- of MES-systemen via een OPC UA-interface (Industrie 4.0). Zo kan een optimale omgeving worden gecreëerd die alle processen en procesapparatuur integreert in de minienvironments.

Technische uitrusting van de nat-droog werkbank

- Geautomatiseerde voorplaat met instelbare instellingen
- Lichtgeleiders
- VSR-aansluitingen voor toevoer- en afzuiglucht
- Verlichting (ook geel licht)
- Werkruimte met drukbewaking voor proceseveiligheid
- Temperatuurmonitoring van werkruimte en afvoer
- Signaallamp en zoemer
- PLC-besturing
- Luchtfilter (klasse H14)

Optionele uitrusting van de nat-droog werkbank

- Ingebouwde doorgang naar naburige werkbank
- Aansluitingen voor thermische ontledingsunit (TAE)
- Mediavoorziening op klantwens (individuele controle)
- Bedieningspanelen voor media (hand, voet, display)
- Ultrasone bak
- Afzuigkappen en afzuigneveling
- Onderbouwspoeling
- Scheidingswand
- Mogelijkheden voor temperatuurmonitoring
- Externe bediening op klantwens
- Ionisator
- Quick Dump Rinse-bak
- Procesbak
- Spoelbak
- Spin Coater

De in 1988 opgerichte fabrikant van speciale installaties MK Versuchsanlagen und Laborbedarf e.K. ontwikkelt en bouwt metaalvrije cleanroominstallaties en cleanrooms. Daarnaast behoren handschoencontroleapparaten, die gebruikers de mogelijkheid bieden om handschoenen kostenefficiënt en geautomatiseerd te testen, tot het portfolio. Door de jarenlange zakelijke relatie met toonaangevende farmaceutische bedrijven en laboratoria wereldwijd voldoen de producten van MK Versuchsanlagen aan de hoogste kwaliteitsnormen. MK Versuchsanlagen is een ISO 9001:2015-gecertificeerde industriële onderneming.