Úspora nákladů za perfektních podmínek

Kompletně bez kovových čisté místnosti

Přehled práce - I nábytek je bez kovu

Monitoring

Perfektní podmínky pro moderní polovodičové technologie

Perfektní podmínky pro moderní polovodičové technologie

Pracoviště u stolu

Výrobce speciálních zařízení MK Versuchsanlagen vyrábí jak bezmetalové mokré, tak suché pracovní skříně.

Práce za perfektních podmínek a přitom výrazně snižování nákladů, to je možné s nově vyvinutou bezkovovou mokro-suchou pracovnou stanicí, kterou uvádí na trh specializovaný výrobce zařízení MK Versuchsanlagen und Laborbedarf e.K.

Stanice mokro-suché práce navržená jako minienvironment zajišťuje nejvyšší čistotu na místě dění. To je obzvláště zajímavé pro pracovní procesy v polovodičové technologii, kde je nutnost nejvyšších stupňů čistoty pouze přímo na pracovišti (třída čistoty ISO 3).

Snížení energetické náročnosti až o 50 procent v řízení vzduchu možné

Stejně jako všechny ostatní bezkovové zařízení od MK Versuchsanlagen je mokro-suchá pracovní stanice vybavena vlastním vyvinutým větráním, které vede k výraznému snížení energetické náročnosti. Vývojáři předpokládají, že při klimatizaci pomocí inteligentního řízení vzduchu je možné ušetřit až 50 procent energie. Zvlášť zajímavé je, že dodatečná instalace do stávajících čistých prostor je díky speciálnímu ventilačnímu konceptu, i při kritických podmínkách větrání místností, snadná a tím lze také zde realizovat energeticky úsporný efekt. Samozřejmě bezkovové pracovní stanice nabízejí i nejvyšší ochranu proti korozi a poškození produktu.

Vlastnoručně vyvinutý hardwar a software umožňuje snadnou integraci do stávajících systémů

Do mokro-suché pracovní stanice lze integrovat Quick Dump Rinse (QDR) nádrž na čištění polovodičových destiček. QDR nádrž je modulární a skládá se z procesní nádrže a sběrné nádrže. V procesní nádrži dochází k čištění polovodičových destiček nebo waferového nosiče. Čištění probíhá pomocí postřikového systému, který naplní nádrž vysoce čistou vodou a tím zastaví proces etching na polovodičových destičkách. Aby se odstranily nečistoty z polovodičových destiček, jsou tyto odplavány díky podtlaku vznikajícímu při otevírání ventilu.

Technické údaje k QDR nádrži

- Materiál: Vysoce moderní plast – Polypropylen (PP)
- Objem: 22,5 litru
- Přepadová ochrana: 360°
- Počet postřikových trysek: 8
- Doba plnění: cca 120 sekund
- Doba vypouštění: cca 10 sekund
- Velikost waferového nosiče: až do 8“
- Čisticí médium: DI voda
- Ventil vypouštění QDR: 2,5 – 5,6 kg / cm²

Stejně jako veškeré hardware od firmy MK Versuchsanlagen je i software vlastním vývojem výrobce zařízení. To má velkou výhodu v tom, že integrace do stávajících nadřazených digitálních systémů je výrazně jednodušší. Přímá integrace do GLT je možná stejně jako připojení k systémům LIMS nebo MES přes OPC UA rozhraní (Průmysl 4.0). Tím je možné vytvořit optimální prostředí, které integruje všechny procesy a zařízení do minienvironmentů.

Technické vybavení mokro-suché pracovní stanice

- Automatizovaný přední posuvník s individuálním nastavením
- Světelný mřížka
- VSR přípojky pro přívod a odvod vzduchu
- Osvětlení (včetně žlutého světla)
- Pracovní komora s tlakové monitoringem pro bezpečnost procesu
- Monitoring teploty pracovní komory a odvodu vzduchu
- Signalizační LED a siréna
- Řídicí systém PLC
- Filtr přívodu vzduchu (třída H14)

Volitelné vybavení mokro-suché pracovní stanice

- Integrované průchodové okno do sousední stanice
- Přípojky pro TEP (Tepelná rozkládací jednotka)
- Připojení médií dle požadavků zákazníka (individuální posouzení)
- Ovládací prvky pro média (ruční, nožní, displej)
- Ultrazvuková nádrž
- Odvodní a rozprašovací systém odvodu vzduchu
- Podpodlažní čištění
- Přepážka
- Možnosti připojení monitoringu teploty
- Dálková údržba na přání zákazníka
- Ionizátor
- Quick Dump Rinse nádrž
- Procesní nádrž
- Čisticí nádrž
- Spin Coater

Výrobce specializovaných zařízení MK Versuchsanlagen und Laborbedarf e.K., založený v roce 1988, vyvíjí a staví bezkovové čistící prostory a zařízení. Kromě toho patří do portfolia také rukavice testovací přístroje, které uživatelům umožňují efektivně a automatizovaně kontrolovat rukavice. Díky dlouholetým obchodním vztahům s předními farmaceutickými společnostmi a laboratořemi po celém světě produkty MK Versuchsanlagen splňují nejvyšší požadavky na kvalitu. MK Versuchsanlagen je certifikována podle ISO 9001:2015.