Risparmiare sui costi in condizioni perfette

Camere bianche completamente prive di metallo

Panoramica del lavoro - Anche i mobili sono privi di metallo

Monitoraggio

Condizioni perfette per le tecnologie moderne dei semiconduttori

Condizioni perfette per le tecnologie moderne dei semiconduttori

Postazione di lavoro seduta

Sia i mobili da lavoro bagnati sia quelli asciutti senza metalli vengono prodotti dal costruttore di impianti speciali MK Versuchsanlagen

Operare in condizioni perfette e risparmiare notevoli costi, questo è possibile con la nuova postazione di lavoro bagnata-secca senza metallo, sviluppata dal produttore di impianti speciali MK Versuchsanlagen und Laborbedarf e.K.

La postazione di lavoro bagnata-secca progettata come mini ambienti garantisce la massima pulizia sul luogo dell'operazione. Questo è particolarmente interessante per i processi di lavoro nella tecnologia dei semiconduttori, dove la necessità delle più alte classi di purezza è richiesta solo direttamente sul posto di lavoro (classe di cleanroom ISO 3).

Riduzione del fabbisogno energetico fino al 50% grazie alla gestione dell'aria

Come tutte le altre apparecchiature senza metallo di MK Versuchsanlagen, anche la postazione di lavoro bagnata-secca dispone di un sistema di ventilazione sviluppato internamente da MK Versuchsanlagen, che porta a una significativa riduzione del fabbisogno energetico. Gli sviluppatori stimano che, grazie a un clima controllato tramite una gestione intelligente dell'aria, si possano ottenere risparmi energetici fino al 50%. Particolarmente interessante è il fatto che un retrofit in ambienti di cleanroom esistenti, tramite un sistema di ventilazione speciale, anche in presenza di ventilazioni critiche, sia semplice da realizzare e possa così anche qui realizzare un effetto di risparmio energetico. Naturalmente, le postazioni di lavoro senza metallo offrono anche la massima protezione contro la corrosione e i danni ai prodotti.

Hardware e software sviluppati internamente consentono una facile integrazione nei sistemi esistenti

Può essere integrato nella postazione di lavoro bagnata-secca un contenitore Quick Dump Rinse (QDR) per la pulizia dei wafer di semiconduttori. Il contenitore QDR è modulare e si compone di un contenitore di processo e di un contenitore di raccolta. Nel contenitore di processo avviene la pulizia dei wafer o del portapezzi. La pulizia avviene tramite un sistema di spruzzo che riempie il contenitore con acqua altamente pura, interrompendo così il processo di etching sui wafer. Per eliminare le contaminazioni dai wafer, questi vengono sciacquati grazie alla depressione creata dall'apertura della valvola, che li spinge fuori.

Dati tecnici sul contenitore QDR

- Materiale: plastica di ultima generazione – polipropilene (PP)
- Capacità: 22,5 litri
- Paratia di troppo pieno: 360°
- Numero di ugelli di spruzzo: 8
- Tempo di riempimento: circa 120 secondi
- Tempo di scarico: circa 10 secondi
- Dimensione portapezzi: fino a 8”
- Medium di lavaggio: acqua DI
- Valvola di scarico QDR: 2,5 – 5,6 Kg / cm²

Come tutta l'hardware di MK Versuchsanlagen, anche il software è uno sviluppo proprietario del produttore di impianti speciali. Questo ha il grande vantaggio che l'integrazione in sistemi digitali esistenti e superiori è molto più semplice da realizzare. È possibile un'integrazione diretta con il sistema di gestione (GLT) così come l'interfaccia con sistemi LIMS o MES tramite una interfaccia OPC UA (Industria 4.0). In questo modo, è possibile creare un ambiente ottimale che integra tutti i processi e i dispositivi di processo nelle mini ambienti.

Dotazioni tecniche della postazione di lavoro bagnata-secca

- Carrello frontale automatizzato con regolazione individuale
- Barriera luminosa
- Connessioni VSR per aria in ingresso e in uscita
- Illuminazione (anche luce gialla)
- Camera di lavoro con monitoraggio della pressione per la sicurezza del processo
- Monitoraggio della temperatura della camera di lavoro e dell'aria di scarico
- Segnale LED e sirena
- Controllo PLC
- Filtro aria in ingresso (classe H14)

Dotazioni opzionali della postazione di lavoro bagnata-secca

- Passaggio integrato per la postazione di lavoro adiacente
- Connessioni per unità di digestione termica (TAE)
- Alimentazione di media su richiesta del cliente (verifica individuale)
- Parti di comando per i media (maniglia, piede, display)
- Contenitore ad ultrasuoni
- Aspiratori di scarico e nebulizzazione dell'aria di scarico
- Pulizia sotto il pavimento
- Partizione
- Possibilità di collegamento per il monitoraggio della temperatura
- Manutenzione remota su richiesta del cliente
- Ionizzatore
- Contenitore Quick Dump Rinse
- Contenitore di processo
- Contenitore di risciacquo
- Spin Coater

Il produttore di impianti speciali MK Versuchsanlagen e Laborbedarf e.K., fondato nel 1988, sviluppa e costruisce ambienti di cleanroom senza metallo e sistemi di cleanroom. Inoltre, il portfolio include apparecchi di verifica delle guanti, che consentono agli utenti di verificare in modo economico e automatizzato i guanti. Grazie ai molti anni di collaborazione con le principali aziende farmaceutiche e laboratori di tutto il mondo, i prodotti di MK Versuchsanlagen soddisfano i più elevati standard di qualità. MK Versuchsanlagen è un'azienda certificata ISO 9001:2015.