Aligner ultra-fin pour un réglage précis avec un débit élevé

Le masqueur 3D MP700-3 est une solution innovante, industrielle et évolutive, pour un alignement compact et précis avec un débit élevé. (Image : Steinmeyer Gruppe)

Avec le 3D Mask-Aligner MP700-3, Steinmeyer Mechatronik propose une solution de positionnement innovante, industrielle et évolutive pour l'industrie électronique et également pour l'industrie des semi-conducteurs. Le système parallélocentrique avec des coussins d'air et des actionneurs directs fonctionne entièrement sans particules et sans entretien, permettant une précision maximale dans une conception ultra-plate et une grande dynamique.

Le MP700-3 est un aligner ultra-plat avec une ouverture de 730 x 730 mm pour un alignement et un positionnement de haute précision de grands substrats, masques, cadres, tamis et plaques d'impression dans un environnement à faible émission de particules. Le système à plusieurs axes dispose d'un cadre mobile supporté par trois modules identiques, et réalise deux mouvements translationnels de ± 5 mm dans le plan et une rotation autour de la verticale de ± 3°. Les mouvements individuels des trois unités d'entraînement résultent, selon le principe parallélocentrique, en un mouvement global. Cela garantit une grande répétabilité allant jusqu'à 0,4 µm ou ± 0,0002° sous des charges jusqu'à 28 kg, ainsi qu'une conception ultra-plate avec des dimensions de 990 x 1 090 mm.

Construction innovante

Dans chaque module d'entraînement, sont intégrés des coussins d'air poreux en graphite, un moteur linéaire à commutation électronique très dynamique et un système de rétroaction inductif basé sur une mesure de déformation. Grâce aux coussins d'air, une rigidité extrême peut être atteinte. Une fois la tête de mesure en position, l'air est relâché des coussins et le système est fixé par sa précontrainte interne. Les actionneurs linéaires et les pas de déplacement dans la plage du sub-micromètre garantissent un débit élevé ainsi que des processus stables dans un espace réduit. Tous les câbles et tuyaux pour la communication de données, ainsi que pour l'alimentation en air et en énergie, sont solidement intégrés. Le système fonctionne à 100 % sans particules, est totalement sans entretien et offre une durée de vie infinie.

Nombreuses possibilités d'adaptation individuelle

En tant que spécialiste des solutions sur mesure, Steinmeyer Mechatronik offre une large gamme d'options. Que ce soit l'ouverture, le support d'échantillons ou une extension avec un axe Z, un contrôleur de mouvement intégré ou une connexion SPS, un appareil autonome ou un concept en ligne flexible : les possibilités d'adaptation spécifique à l'application sont pratiquement infinies. Il est également possible d'une configuration individuelle avec support, isolation contre les vibrations et boîtier, ainsi qu'une conception pour la salle blanche selon la norme ISO 14644-1 jusqu'à la classe 1. Tous les systèmes parallélocentriques sont livrés entièrement montés, équipés du contrôle nécessaire et testés selon des critères spécifiques au client.

Large éventail d'applications dans l'industrie électronique

Avec le 3D Mask-Aligner MP700-3, Steinmeyer Mechatronik repousse les limites technologiques et offre à l'industrie électronique une solution innovante, industrielle et évolutive pour un réglage compact et précis avec un débit élevé. Les domaines d'application incluent la fabrication de circuits imprimés, les imprimantes UV, l'inspection des semi-conducteurs, le réglage des semi-conducteurs, l'alignement d'échantillons, l'analyse, la mesure en transmission et en transmission oblique, les mesures de transfert ainsi que la fabrication électronique.