Ultraflacher Aligner a pontos beállításhoz magas átvitellel

A 3D Mask-Aligner MP700-3 egy innovatív, ipari méretű és skálázható megoldás a kompakt és precíz beállításhoz magas átviteli képességgel. (Kép: Steinmeyer csoport)

Az MP700-3 3D Maszk-Aligner-rel a Steinmeyer Mechatronik egy innovatív, iparilag alkalmas és skálázható pozícionálórendszert kínál az elektronikai és félvezetőipar számára. A párhuzamos kinematikus rendszer légcsapágyakkal és közvetlen meghajtásokkal teljesen részecskementes és karbantartásmentes működést biztosít, lehetővé téve a legmagasabb precizitást ultra-vékony kialakításban és magas dinamika mellett.

A MP700-3 egy ultra-vékony aligner, 730 x 730 mm-es nyílással, nagy pontosságú igazításhoz és pozícionáláshoz nagy felületeken, mint például szubsztrátok, maszkok, keretek, sziták és nyomtatólemezek, részecskementes környezetben. A többtengelyes rendszer egy mozgatható keretből áll, melyet három azonos modul támogat, és két translációs mozgást valósít meg ± 5 mm-es tartományban a síkban, valamint egy forgást a függőleges tengely körül ± 3°-ban. A három meghajtóegység együttes mozgásából a párhuzamos kinematikus elv szerint jön létre a teljes mozgás. Ez biztosítja a magas ismételhetőséget, akár 0,4 µm vagy ± 0,0002°, tartományban, 28 kg-ig terhelhetően, valamint ultra-vékony kialakítást, 990 x 1.090 mm-es méretekkel.

Innovatív felépítés

Minden meghajtó modulban grafitból készült porózus légcsapágyak, egy rendkívül dinamikus elektronikus kommutált lineáris motor és egy induktív visszacsatoló rendszer található, mely egy mérőtest alapú visszacsatoláson alapul. A légcsapágyak segítségével extrém merevség érhető el. Amint a mérőfej pozícióba kerül, a légáramlatot elzárják, és a rendszer belső előfeszítésével rögzítik. A lineáris meghajtók és a mikromozgások submikrométeres tartományban garantálják a magas átviteli sebességet és a stabil folyamatokat kis helyigény mellett. Minden adatkommunikációs kábel és tömlő, valamint az energia- és légellátás fixen van beépítve. A rendszer 100%-ban részecskementes, teljesen karbantartásmentes, és végtelen élettartamot biztosít.

Sokféle lehetőség az egyéni testreszabásra

Mint a megrendelőspecifikus megoldások szakértője, a Steinmeyer Mechatronik széles választékot kínál opciókból. Legyen szó nyílásról, mintatartóról vagy Z-tengelyes bővítésről, beépített mozgásvezérlőről vagy PLC csatlakozásról, legyen szó önálló eszközről vagy rugalmas inline koncepcióról: az alkalmazás-specifikus testreszabás lehetőségei szinte végtelenek. Természetesen egyedi felépítés, állvánnyal, rezgéscsillapítással és burkolattal, valamint ISO 14644-1 szabvány szerinti tisztatéri kialakítás is lehetséges. A pozícionálási szakértő teljesen összeszerelt, a szükséges vezérléssel felszerelt és az ügyfél által meghatározott kritériumok szerint tesztelt párhuzamos kinematikákat szállít.

Széles alkalmazási kör az elektronikai iparban

A Steinmeyer Mechatronik a 3D Mask-Aligner MP700-3-mal áttöri a technológiai határokat, és az elektronikai ipar számára innovatív, iparilag alkalmas és skálázható megoldást kínál a kompakt és precíz igazításhoz magas átviteli sebességgel. Alkalmazási lehetőségek a nyomtatott áramkörök gyártásában, UV-nyomtatók, félvezető-ellenőrzés, félvezető-igazítás, minták igazítása, elemzés, fel- és átfényképzés, transzfermérések, valamint elektronikai gyártás területein találhatók.