Ultradunne aligner voor nauwkeurige afstelling met hoge doorvoer

De 3D Mask-Aligner MP700-3 is een innovatieve, industriële en schaalbare oplossing voor compacte en nauwkeurige afstelling met een hoog doorvoersnelheid. (Afbeelding: Steinmeyer Groep)

Met de 3D Mask-Aligner MP700-3 biedt Steinmeyer Mechatronik een innovatieve, industrietouristische en schaalbare positioneringsoplossing voor de elektronica- en halfgeleiderindustrie. Het parallelkinematische systeem met luchtlagers en directe aandrijvingen werkt volledig stof- en onderhoudsvrij en maakt hoge precisie mogelijk bij een ultradunne bouwvorm en hoge dynamiek.

De MP700-3 is een ultradale aligner met een opening van 730 x 730 mm voor de hoogprecisieve uitlijning en positionering van grote substraten, maskers, kaders, zeefdrukken en drukplaten in een stofarme omgeving. Het meerrichtingsysteem beschikt over een beweegbare frame dat wordt gedragen door drie identieke modules en realiseert twee translatiebewegingen van ± 5 mm in het vlak en een rotatie om de verticale as van ± 3°. Uit de individuele bewegingen van de drie aandrijfeenheden ontstaat volgens het parallelkinematische principe de totale beweging. Dit zorgt voor een hoge herhaalnauwkeurigheid tot 0,4 µm of ± 0,0002° bij belastingen tot 28 kg, evenals een ultradunne bouwvorm met afmetingen van 990 x 1.090 mm.

Innovatieve opbouw

In elke aandrijfeenheid zijn poreuze luchtlagers van grafiet, een hoogdynamische elektronisch gecommuteerde lineaire motor en een inductief feedbacksysteem op basis van een maatwerkcomponent geïntegreerd. Dankzij de luchtlagers kan een extreme stijfheid worden bereikt. Zodra de meetkop op positie is gebracht, wordt de lucht uit de lagers gelaten en wordt het systeem door zijn interne voorspanning vastgezet. Lineaire aandrijvingen en stapgroottes in het sub-micrometerbereik garanderen de hoogste doorvoer en stabiele processen op een kleine bouwruimte. Alle kabels en slangen voor datacommunicatie, lucht- en energievoorziening zijn vast ingebouwd. Het systeem werkt 100% stofvrij, is volledig onderhoudsvrij en biedt een oneindige levensduur.

Veel mogelijkheden voor individuele aanpassing

Als specialist in klantgerichte oplossingen biedt Steinmeyer Mechatronik een breed scala aan opties. Of het nu gaat om opening, proefhouder of uitbreiding met Z-as, of een geïntegreerde motion controller of PLC-aansluiting, of het nu een standalone apparaat of een flexibel inlineconcept betreft: de mogelijkheden voor toepassingsspecifieke aanpassing zijn bijna grenzeloos. Uiteraard is ook een individuele opbouw met frame, trillingsisolatie en behuizing mogelijk, evenals een ontwerp voor cleanroom ISO 14644-1 tot klasse 1. Alle parallelkinematica wordt volledig gemonteerd geleverd, uitgerust met de benodigde besturing en getest volgens klant-specifieke criteria.

Breed toepassingsgebied in de elektronica-industrie

Met de 3D Mask-Aligner MP700-3 doorbreekt Steinmeyer Mechatronik technologische grenzen en biedt de elektronica-industrie een innovatieve, industrietouristische en schaalbare oplossing voor compacte en nauwkeurige afstelling met een hoog doorvoersnelheid. Toepassingsmogelijkheden bevinden zich op het gebied van printplaatfabricage, UV-drukker, halfgeleiderinspectie, halfgeleiderafstelling, uitlijning van monsters, analyse, op- en doorlichtmetingen, transfermetingen en elektronica-productie.