Ultraflacher aligner pro přesné seřízení s vysokou kapacitou

3D maskovací aligner MP700-3 je inovativní, průmyslově vhodné a škálovatelné řešení pro kompaktní a přesné nastavování s vysokým výkonem. (Obrázek: Steinmeyer Gruppe)

Se 3D Mask-Aligner MP700-3 nabízí Steinmeyer Mechatronik inovativní, průmyslově odolné a škálovatelné řešení pro polohování pro elektronický a také polovodičový průmysl. Parallelogramový systém s vzduchovými ložisky a přímými pohony pracuje zcela bez částic a údržby a umožňuje nejvyšší přesnost při ultra-tenkém provedení a vysoké dynamice.

U MP700-3 se jedná o ultra-tenký aligner s aperturou 730 x 730 mm pro vysoce přesné zarovnání a polohování velkých substrátů, masek, rámů, sít a tiskových desek v prostředí s nízkým obsahem částic. Tento víceosý systém má pohyblivý rám, který je nesen třemi identickými moduly, a realizuje dvě lineární pohyby o ± 5 mm v rovině a rotaci kolem svislé osy o ± 3°. Z jednotlivých pohybů tří pohonných jednotek vyplývá podle paralelogramového principu celkový pohyb. To zajišťuje vysokou opakovatelnost až 0,4 µm nebo ± 0,0002° při zatížení až 28 kg a ultra-tenké konstrukci s rozměry 990 x 1 090 mm.

Inovativní konstrukce

V každém pohonném modulu jsou porézní vzduchová ložiska z grafitu, vysoce dynamický elektronicky komutovaný lineární motor a induktivní zpětnovazební systém založený na měřítkování. Pomocí vzduchových ložisek lze dosáhnout extrémní tuhosti. Jakmile je měřicí hlava na místě, vzduch z ložisek se vypustí a systém je zafixován interním předpětím. Lineární pohony a krokové pohyby v submikrometrickém rozsahu zajišťují nejvyšší průchodnost a stabilní procesy na malém prostoru. Všechna kabelová a hadicová vedení pro datovou komunikaci, vzduch a energii jsou pevně zabudována. Systém pracuje na 100 % bez částic, je zcela bezúdržbový a nabízí nekonečnou životnost.

Široké možnosti individuální přizpůsobení

Jako specialista na zákaznicky specifická řešení nabízí Steinmeyer Mechatronik širokou škálu možností. Ať už jde o aperturu, držák vzorků nebo rozšíření o Z-osa, zda o integrovaný pohybový řadič nebo připojení k PLC, zda o samostatné zařízení nebo flexibilní inline koncept: možnosti aplikací na míru jsou téměř neomezené. Samozřejmě je možné také individuální uspořádání s rámem, izolací proti vibracím a krytem, stejně jako řešení pro čisté prostory podle normy ISO 14644-1 až třídy 1. Všechny paralelogramové mechanismy dodává polohovací specialista plně sestavené, vybavené potřebným řízením a testované podle individuálních požadavků zákazníka.

Široké spektrum použití v elektronickém průmyslu

S 3D Mask-Aligner MP700-3 překonává Steinmeyer Mechatronik technologické limity a nabízí elektronickému průmyslu inovativní, průmyslově odolné a škálovatelné řešení pro kompaktní a přesné seřízení s vysokou průchodností. Možnosti použití naleznou u výroby plošných spojů, UV tiskáren, inspekce polovodičů, seřízení polovodičů, zarovnání vzorků, analýz, měření s osvětlením shora i zdola, transferových měření a výroby elektroniky.