Alineador ultrafino para un ajuste preciso con alto rendimiento

El 3D Mask-Aligner MP700-3 es una solución innovadora, industrialmente apta y escalable para un ajuste compacto y preciso con alto rendimiento. (Imagen: Steinmeyer Gruppe)

Con el alineador 3D Mask-Aligner MP700-3, Steinmeyer Mechatronik ofrece una solución de posicionamiento innovadora, apta para la industria y escalable para la industria electrónica y también para la industria de semiconductores. El sistema paralelomecánico con cojinetes de aire y accionamientos directos funciona completamente libre de partículas y mantenimiento, y permite una máxima precisión en un diseño ultraflaco y con alta dinámica.

El MP700-3 es un alineador ultraflaco con una apertura de 730 x 730 mm para la alineación y posicionamiento de alta precisión de sustratos grandes, máscaras, marcos, pantallas y placas de impresión en un entorno de baja generación de partículas. El sistema multieje cuenta con un marco móvil soportado por tres módulos idénticos, y realiza dos movimientos translativos de ± 5 mm en el plano y una rotación alrededor de la vertical de ± 3°. Los movimientos individuales de las tres unidades de accionamiento resultan, según el principio paralelomecánico, en el movimiento total. Esto garantiza una alta repetibilidad de hasta 0,4 µm o ± 0,0002° con cargas de hasta 28 kg, además de un diseño ultraflaco con dimensiones de 990 x 1.090 mm.

Construcción innovadora

En cada módulo de accionamiento se integran cojinetes de aire porosos de grafito, un motor lineal de conmutación electrónica de alta dinámica y un sistema de retroalimentación inductiva basado en una medición de volumen. Gracias a los cojinetes de aire, se puede lograr una rigidez extrema. Una vez que la cabeza de medición está en posición, se libera el aire de los cojinetes y el sistema se fija mediante su precarga interna. Los accionamientos lineales y los pasos en el rango de submicrómetros garantizan un alto rendimiento y procesos estables en un espacio reducido. Todos los cables y mangueras para la comunicación de datos, así como para el suministro de aire y energía, están integrados de forma fija. El sistema funciona 100 % libre de partículas, requiere ningún mantenimiento y ofrece una duración de vida infinita.

Gran variedad de opciones para personalización

Como especialista en soluciones personalizadas, Steinmeyer Mechatronik ofrece una amplia variedad de opciones. Ya sea apertura, soporte para muestras o expansión con eje Z, controlador de movimiento integrado o conexión PLC, dispositivo autónomo o concepto flexible en línea: las posibilidades de adaptación específica a la aplicación son prácticamente ilimitadas. Por supuesto, también es posible una configuración personalizada con estructura, aislamiento contra vibraciones y carcasa, así como un diseño para salas limpias ISO 14644-1 hasta la clase 1. Todos los sistemas paralelomecánicos se entregan completamente montados, equipados con el control necesario y probados según criterios específicos del cliente.

Amplio rango de aplicaciones en la industria electrónica

Con el alineador 3D Mask-Aligner MP700-3, Steinmeyer Mechatronik rompe límites tecnológicos y ofrece a la industria electrónica una solución innovadora, apta para la industria y escalable para el ajuste compacto y preciso con alto rendimiento. Las posibles aplicaciones se encuentran en la fabricación de placas de circuito impreso, impresoras UV, inspección de semiconductores, ajuste de semiconductores, alineación de muestras, análisis, mediciones de transmisión y reflexión, transferencias y fabricación electrónica.